Minienvironment – lokale Reinraumlösung

Was ist ein Minienvironment?

Frei übersetzt ist ein Minienvironment eine kleine Umgebung. Doch wie genau schaut solch eine Umgebung in der Reinraumtechnik aus?

Das Minienvironment ist ein lokaler Reinraum, der der Sicherung der reinen Produktionsumgebung dient. Jedoch ist hierzu nicht immer ein begehbarer Reinraum notwendig. Schon oft genügen kleine Einhausungen der Produktionsmaschinen, um den betreffenden Prozess mit einer Luftreinheit zu versorgen.

Der Begriff „Minienvironment“ ist auch im Halbleiterstandard von SEMI „SEMI E44-95 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments“ definiert. Er ist beschrieben als „a localised environment created by an enclosure to isolate the product from contamination and people” (frei übersetzt: „Eine lokalisierte Umgebung, die durch ein Gehäuse geschaffen wurde, um das Produkt von Kontaminationen und Menschen zu isolieren ). Die für viele Prozesse in Hochtechnologiebereichen heutzutage notwendige Reinheit kann meist nur in Minienvironments realisiert werden.

Man erhält dadurch einen optimalen Schutz vor Kreuzkontaminationen. Weitere störende Umgebungseinflüsse wie beispielsweise Luftverwirbelungen können verhindert werden. Zusätzlich erreicht man bei einer konsequenten Einhaltung der technologischen Prozesse innerhalb der Minienvironments und Gestaltung der Schnittstellen zwischen diesen (Produktübergabe), dass die Bedingungen des umgebenden Raumes (Reinraum) nicht den hohen Ansprüchen der Prozesse mehr genügen muss, sondern eine geringere Luftreinheitsklasse ausreichend ist. Dies macht sich vordergründig bei den laufenden Kosten einer Fertigung im Reinraum bemerkbar. Auch die anfänglichen Investitionskosten können damit niedrig gehalten werden.

 

Wie funktioniert solch ein Minienvironment?

Solch ein Minienvironment wird dank Lüfter-Filter-Module (FFM/FFU) mit reiner Luft versorgt. Diese können, je nach Produkt und unter Berücksichtigung der Prozesskette, das Minienvironment mit einem horizontalen oder mit einem vertikalen Luftstrom versorgen. Somit kann innerhalb eines Minienvironments eine Luftreinheitsklasse bis ISO-Klasse 1 (nach DIN EN ISO 14644-1) erreicht werden. Ein optimiertes Strömungskonzept kann realisiert werden und an jegliche Produktionserfordernisse angepasst werden.

 

Wo können sie eingesetzt werden?

Minienvironments können in vielen verschiedenen technischen Bereichen eingesetzt werden. Dabei entstehen verschiedene Anforderungen. Im optischen Bereich werden beispielsweise andere Anforderungen an das Minienvironment gestellt als in Forschungseinrichtungen oder in der Halbleiterindustrie. Realisierte Beispiele aus unterschiedlichen Bereichen finden Sie auch im kostenlosen Whitepaper  der COLANDIS GmbH, welches Sie sich herunter laden können.

Author: Romy Dobermann

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