Das Reinraum Wiki: Begriffe und Definitionen

Willkommen auf dem Reinraum Wiki, dem Wiki für Begriffe rund um die Reinraumtechnik.

Dieser Service der COLANDIS GmbH wurde ins Leben gerufen, um Unternehmen aus der Industrie und Technologiebranche eine zentrale Anlaufstelle für den technischen Bereich in der Reinraumtechnik bereitzustellen.

Wir werden regelmäßig neue Begriffe rund um die Themen Reinraum, Sauberraum, Reinheitstauglichkeit und Reinraumtauglichkeit erklären. Viel Spaß beim Stöbern, Nachschlagen und Informieren.

Begriffe der Reinraumtechnik von A bis E

Abklingmessung

Vorgehen, bei dem die Wirksamkeit und Eignung der Extraktionsparameter überprüft wird, indem die Extraktion in identischer Weise merhmals am gleichen Prüfobjekt wiederholt wird [in Anlehung an ISO 16232] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Ableitfähigkeit von Oberflächen

Oberflächenwiderstand

Elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei Elektroden an einer Oberfläche (hier z.B. Bodenbelag; EN 1081)

Erdableitwiderstand

Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode an einem beliebigen Oberflächenpunkt des Betriebsmittels und dem Betriebsmittel-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V (Masse) liegt.

Antistatische Eigenschaften

Fähigkeit, elektrostatische Aufladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen durch Leitung oder andere Mechanismen auf einen festgelegten Wert oder auf den Nennwert abzubauen.

Elektrisches Oberflächenpotenzial

“Inseln” mit positiver oder negativer Ladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen führen zu einem Potenzialwert zwischen diesen Ladungen. Das elektrische Oberflächenpotenzial entspricht einem Spannungswert, welcher durch geeignete Messgeräte (z.B. Tera-Ohm-Meter oder Feldstärkenmessgeräte) angezeigt werden kann.

(Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

Ableitwiderstand

Fähigkeit, vorhandene Ladungen kontrolliert und ausreichend schnell abzuführen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Abluft

Abluft ist die durch Teilchen verunreinigte, aus den reinen Bereichen abgeführte Luft. Sie teilt sich anschließend im Regelfall in die Umluft des Primärkreises, in die Umluft des Sekundärkreises und in die Fortluft.

Abluft-Stauraum # veraltet aus dem Jahr 1984

Dem perforierten Fußboden oder der Abluftwand nachgeschalteter Druckraum zur Sicherung der Stabilität der turbulenzarmen Verdrängungsströmung im reinen Bereich.

Abnahmemessungen

Abnahmemessungen für Reinräume dienen dem Nachweis der Übereinstimmung mit den festgelegten Anforderungen der Luftreinheit. Sie erfolgen nach vorgeschriebenen Standards entsprechend DIN EN ISO14644-1, DIN EN ISO 14644-4 und VDI 2083-3. Die Abnahmemessungen umfassen dabei mindestens

  • Luftvolumenstrom- / Luftgeschwindigkeitsprüfung
  • Bestimmung der Luftwechselzahl
  • Differenzdruckprüfung
  • Dichtheitsprüfung für Filter
  • Zählung luftgetragener Partikel inkl. statistische Auswertung und Klassifizierung des Reinraumes

Weitergehende Messungen umfassen Klimaparameter, Schallpegel und Beleuchtungsstärke.

Abscheidegrad (Trenngrad, separation efficiency)

Im Allgemeinen wird mit dem Abscheidegrad die Wirksamkeit von Trennverfahren bewertet. In der Reinraum-Filtertechnik beschreibt der Abscheidegrad eines Filters das Verhältnis von abgeschiedenen Partikeln zu eingetretenen Partikeln pro Volumeneinheit und wird in Prozent angegeben.

Abscheidegrad (in %) = 100 x (CE-CA) / CE

CE= Partikelkonzentration bei Lufteintritt CA= Partikelkonzentration bei Luftaustritt

Der Abscheidegrad ist von der Partikelgröße abhängig. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Filterklassifizierung anhand des Abscheidegrades  gegenüber dieser Partikelgrößen.

Abschottung # veraltet aus dem Jahr 1984

Abtrennung von Stauraumbereichen, anlagen- oder funktionsbedingt.

Absorption

Übertragung von Infrarotenergie auf die Moleküle, die im Signalweg der Strahlung vorhanden sind. (Original EN: Transfer of infrared energy to the molecules present within the pathway of the radiation.) (Quelle: ECSS-Q-ST-70-05C,2009)

Acceptance (Abnahme)

Qualitative und quantitative Überprüfung der spezifizierten Parameter und/ oder Abnahmekriterien eines ME am geplanten Einsatzort vor Produktivnahme (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Adaptiertes Mini-Environment

Mini-Environment, das mit dem Prozesstool nicht fest verbunden und damit demontiert ist und Komponenten zur Versorgung mit konditionierter Luft enthalten kann, jedoch nicht zwingend enthält  (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Additive Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch im Umluftbetrieb arbeitende zusätzliche (additive) LF-Geräte wird in einem reinen Bereich durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Reinheitsgrad der Luft örtlich gegenüber der turbulent durchströmten Umgebung gesenkt.

Adsorption

Vorgang der Anlagerung eines Atoms oder Moleküls aus der Gas- oder Flüssigphase an eine Festkörper-Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 8.1, Düsseldorf 2014)

Aktionsgrenze

“Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, bei dessen Überschreitung unverzügliches Eingreifen, einschließlich Ursachenuntersuchung und Korrekturmaßnahmen, erforderlich ist. [DIN EN ISO 14644-7]
(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Aktive Oberfläche

Die mit der Reinraumluft in Kontakt kommende Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Aktives Mini-Environment

Mini-Environment, das durch aktive Belüftung über Schwebstoff- und/oder AMC-Filter oder Schutzgasdurchströmung speziell konditionierte Prozessbedingungen schafft (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Aktivität

Wirksame Konzentration von Atomen, Ionen und Molekülen. Es ist das Konzentrationsmaß, das in die für ideale Mischungen und Lösungen abgeleiteten Gesetzte (z.B. das Massenwirkungsgesetzt) einzusetzen ist, damit sich diese auch dann anwenden lassen, wenn in dem betreffenden System kein ideales Verhalten mehr vorliegt. Es wird durch den Aktivitätskoeffizienten ausgedrückt. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Akzeptanzkriterium

Quantifizierte und dokumentierte Reinheitsanforderung (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf, 2018)

Alarmgrenze

“Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, der frühzeitig vor dem Abweichen von den normalen Bedingungen warnt, und bei dessen Überschreitung dem Prozess verstärkte Aufmerksamkeit gewidmet werden sollte. [DIN EN ISO 14644-7]”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Alkalität

Säureverbrauch eines Wassers (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Alternatives Prüfverfahren

Prüfverfahren, zur Verifizierung derselben Eigenschaft, das nachweislich Ergebnisse liefert, die mit den Vorzugsverfahren übereinstimmen

(Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

APC

Abkürzung für automatic pallet carrier; ein automatischer Palettentransporter zur Versorgung von Fertigungssystemen mit Werkstücken, Werkzeugen und Hilfstoffen. (Quelle: Begrisslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

APOS

Abkürzung für advanced parts orientating system: ein in Japan entwickeltes System zum Ordnen von Teilen. Es nutzt Vibrationsantriebe und füllt Formnester mit Werkstücken. Dabei werden viele Werkstücke über die Formnester geführt. Nach Ablauf der Überschüttungsdauer werden nicht magazinierte Werkstücke mit Druckluft in einen Sammelbehälter geblasen und wieder in den Bunker zurückgeführt. Das befüllte Magazin wird ausgeschleust und gegen ein neues Leermagazin getauscht.(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

AMC (Airborne Molecualr Contamination - luftgetragene molekulare Kontamination)

In der Atmosphäre eines Reinraumes oder einer kontrollierten Umgebung vorhandene molekulare (chemisch nicht partikular) Gase oder Dämpfe, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

AMC-Filter

AMC (Airborne Moleculare Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Aminofilter

(Begriff aus der Reinraumtechnik) Aminofilter sind chemische Filter, die Aminoverbindungen aus der Luft filtern und chemisch binden. Der Einsatz von Aktivkohle ohne chemische Imprägnierung ist nicht möglich, da Aminoverbindungen von der unbehandelten Aktivkohle nicht zurückgehalten werden können. (siehe auch: AMC-Filter)

Anfangsdruckdifferenz

Die Anfangsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz des sauberen Prüflings im Betrieb bei Nennvolumenstrom. Sie wird in Pa angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Anströmfläche

Die Anströmfläche ist die innere Querschnittsfläche des Prüfkanals direkt vor dem Prüfling. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Anströmgeschwindigkeit

Die Anströmgeschwindigkeit ist der Quotient aus Volumenstrom und Anströmfläche. Sie wird in m/s angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Antistatisches Material

Material, das es der elektrostatischen Ladung ermöglicht, über seine Oberfläche und/ oder durch sein Volumen innerhalb einer Zeit abzufließen, die kurz ist im Vergleich zu der Zeit der Ladungserzeugung oder der Zeit, innerhalb derer diese Ladung ein elektrostatisches Problem herbeiführen kann. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Arbeitsbedingt ototoxische Substanzen

Ototoxische Substanzen sind Stoffe, die bei entsprechenden Konzentrationen das Gehör schädigen können. Mögliche Wechsel- und Kombinationswirkungen zwischen Lärm und arbeitsbedingten ototoxischen Substanzen müssen bei Gefährdungsbeurteilung für Tätigkeiten mit gleichzeitiger Belastung durch Lärm und arbeitsbedingte ototoxische Substanzen berücksichtigt werden, soweit dies technisch durchführbar ist. Die Frage der technischen Durchführbarkeit bedeutet z.B., ob arbeitsbedingte ototoxische Substanzen substituiert werden können. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Arbeitsplatz

Arbeitsplätze im Sinne der LärmVibrationsArbSchV sind alle Orte (ortsfest oder mobil bzw. ortbeweglich), an denen sich Beschäftigte bei der Arbeit aufhalten. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Arbeitszone (AZ)

Aufstellbereich der EM-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Ätzende Kontaminante

Substanz, die zu einer unerwünschten zerstörenden chemischen Veränderung einer Oberfläche führt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Aufsalzung

Die Erhöhung der Salzkonzentration im ablaufenden Wasser gegenüber dem Rohwasser als Ergebnis des Überschusses an Regenerationsmitteln, der notwendigerweise bei der Regeneration von Ionentauschern und der Neutralisation der Regenerate eingesetzt werden muss. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Außenbereich

Bereich außerhalb des Umgebungsbereichs einschließlich der äußeren Teile der Material- und Personalschleusen (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Ausgasen, Ausgasung

Freisetzung molekularer Substanz(en) im gas- oder dampfförmigen Zustand aus einem Material.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

 

Außenluft

Außenluft ist die aus der freien Atmosphäre angesaugte Luft.

Aseptisch

Bedingungen und Verfahren, die angewendet werden, um die Einführung mikrobieller mikrobiologischer Kontamination auszuschließen. (Quelle: DIN En 17141, Entwurf, Berlin 2018)

Barriereklassen

Die Barriereklassen orientieren sich an der von der reinen Umgebung zu leistenden Schutzwirkung, je nach Anwendung

  • personenbezogen,
  • produktbezogen,
  • umweltbezogen oder
  • Kombinationen aus den vorgenannten.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

Base

Substanz, deren chemische Reaktion dadurch gekennzeichnet ist, dass sie durch Abgabe von Elektronenpaaren neue Bindungen bildet (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Basekapazität (KB)

Stoffmenge an Hydroxid-Ionen (HO), die ein bestimmtes Volumen Wasser aufnehmen kann, dies diese einen bestimmten pH-Wert erreicht hat. Es werden die gleichen pH-Endwerte wie bei der Säurekapazität festgestellt.(Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Beanspruchungskollektiv

<Tribologie> Parameter der Eingangsgrößen, die auf reibend belastete Werkstoffpaarungen einwirken (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Berstdruck

Druck, bei dem ein gegebenenfalls bleibender Schaden am Raum/ System auftritt.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Betriebszustand Bereitstsellung

    “Zustand des vollständig angeschlossenen und in Funktion befindlichen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstungen und ohne Personal” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Betriebszustand Leerlauf

    “Zustand des vollständig eingerichteten und wie vereinbart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Personal” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Betriebszustand Fertigung Betrieb

    “vereinbarter Zustand des in der festgelegten Betriebsart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs mit der Ausrüstung in Betrieb und mit der festgelegten Anzahl anwesender Personen” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Bezugsdifferenzdruck

    Druck, bei dem die Luftdichtheitsanforderungen eingehalten werden müssen. (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Bezugsnormal

    Normal, im Allgemeinen von der höchsten verfügbaren Genauigkeit, an einem betrachteten Ort oder bei einer Organisation, von dem Messungen abgeleitet werden. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.6 (1)] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Bezugsquader

    Der Bezugsquader ist ein hypothetischer Körper in der Form des kleinsten Quaders, der die Maschine (abgesehen von einzelnen, nicht zur Schallabstrahlung beitragenden Bauteilen) gerade einschließt und an der (den) reflektierenden Ebene(n) endet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Bezugsteilchengröße

    Bezugsteilchengröße ist die Teilchengröße, auf die sich die Häufigkeitssumme bezieht.

    Bioaerosol

    Fein verteile biologische Agenzien in einer gasförmigen Umgebung (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Biokontamination

    Kontamination von Rohstoffen, Geräten, Personen, Oberflächen, Flüssigkeiten, Gasen oder Luft mit lebensfähigen Partikeln (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Biomonitoring

    Messung zur Überwachung der Biokontamination, die kontinuierlich oder in regelmäßigen Zeitabständen vorgenommen werden (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Blindwert

    Der Blindwert repräsentiert die zusätzliche Verunreinigung bei der Prüfung des/ der Bauteile, die sich, beginnend beim Auspacken des Bauteils bis einschließlich der Analyse der Partikelfracht, einstellen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Bracketing and Matrixing

    Reduzierung des Prüfumfangs im Rahmen einer Reinigungsvalidierung auf Basis einer Risikobewertung, indem nur die Extreme aus Reinigungssicht berücksichtigt werden (Bracketing) und vergleichbare Produkte oder Prozesse zusammengefasst werden (Matrixing). (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    CAH

    Abkürzung für computer aided handling: System zur Stimulation von Handhabungsvorgängen. Dazu werden z.B. geometrische Modelle zwischen DAD-Systemen und CAH ausgetauscht. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    CAPA

    Vorgang der systematischen Untersuchung von auftretenden Abweichungen mit der anschließenden Ableitung oder Durchführung von Korrekturmaßnahmen und Vorbeugungsmaßnahmen und Vorbeugungsmaßnahmen. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.3] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    CDA

    Clean, dry air; saubere, trockene Luft (Quelle: SEMI F28-1103, test method for measuring particle generation from process panels, 2003)

    Chemikalienbeständigkeit

    Widerstandsfähigkeit von Materialien oder Werkstoffen gegen die Einwirkung von Chemikalien/ Stoffen (z.B Reinigungs- und Desinfektionsmittel) (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Cluster

    Anhäufung von Molekülen

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

    CNC

    Condensation nucleus counter; Kondensationskernzähler (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Containment (Dichtheitsebene, gasabgrenzende Ebene, Hüllfläche)

    Hüllfläche um einen oder mehrere dichte Räume mit festgelegten Dichtheitsanforderungen gegenüber der Umgebung. (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Dämmwirkung

    Die Dämmwirkung beschreibt die Reduzierung der Schallausbreitung durch Hindernisse, z.B. durch eine Schallschutzhaube oder -kabine, einen Schallschirm, einen Gebäudeteil oder Gehörschutz. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

    Dämpfe

    Sind Stoffe im gasförmigen Aggregatzustand, die durch Verdampfung an der Oberfläche einer Flüssigkeit bzw. durch Sublimation an einem Feststoff entstehen können. Dämpfe können bei Umgebungsbedingungen kondensieren und verhalten sich ansonsten ähnlich wie Gase. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Deionisiertes Wasser

    DI-Wasser; vollentsalztes Wasser; VE-Wasser; Deionat

    Wasser, das von Ionen (Anionen und Kationen) der sich in der Lösung befindlichen Salze zu einem vorbestimmten Grad befreit wurde. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

    Dekontamination

    Bezeichnet das gezielte Entfernen von Verunreinigungen auf ein definiertes Niveau (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010) 

    Dekontaminationsmedium:

    Gas oder Aerosol, mit dem ein Raum zur Dekontamination beaufschlagt wird, Beispiel mit H2O(Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)  

    Desinfektion

    Inaktivierung aller pathogenen Keime und einer großen Reihe anderer Mikroorganismen auf ein Niveau, das der hygienischen Verwendung der Einrichtung entspricht (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)  

    Diffuses Schallfeld

    Das Schallfeld im Bereich des Messraums, in dem der Einfluss des von der Quelle empfangenen Direktschalls vernachlässigbar ist. (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)  

    Direktes Prüfverfahren

    Beurteilung der zu bestimmenden Verunreinigung ohne jegliche Zwischenschritte und Probenvorbereitung. [in Anlehnung an ICH Q 10 PQS Guideline] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)  

    Direktes Verfahren

    Das Verfahren, bei dem der Schallleistungspegel aus den gemessenen Schalldruckpegeln einer Quelle im Hallraum sowie aus Volumen und Nachhallzeit des Raumes berechnet wird (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)  

    DI-Wasser

    De-ionized water; De-ionisiertes Wasser (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)  

    Dopant, Dotiermittel

    Substanz, die nach Sorption und/oder Diffusion in die Masse eines Produkts übergeht und die, sogar als Spurenbestandteil, dazu in der Lage ist, die Eigenschaften von Materialien zu verändern.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

    Durchlaufzeit

    Durchlaufzeit ist der Zeitbedarf für den Materialfluss eines Arbeitsgegenstandes durch ein System. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Durchströmgeschwindigkeit

    Die Durchströmgeschwinigkeit ist der Quotient aus Volumenstrom und freie Filterfläche. Sie wird in m/s angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Eigenfehlersicherheit

    Eigenschaft, von technischen Einrichtungen, insbesondere von Sensoren und Steuerungen, eine eigene Fehlfunktion selbst und mit Sicherheit zu erkennen. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Eingabefeinheit

    Kleinster numerischer Programmierschritt, d.h. kleinste unterscheidbare (Mess-)Einheit, die in einer Steuerung als Sollwert eingegeben werden kann. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Elektrostatische Aufladung

    Durch Reibungs- und Trennvorgänge von Materialien (tribologische Aufladung) oder das Einwirken eines elektrischen Felds (Induktion oder Influenz) auftretende Potenzdifferenz. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Elektrostatische Entladung (ESD)

    Spontaner Ladungsübergang zwischen zwei Körpern oder Materialien mit unterschiedlichen elektrostatischen Potenzialen, verursacht durch direkten Kontakt oder induziert durch ein elektrostatisches Feld (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Elektrostatisch leitfähiges Material

    Material, das der elektrostatischen Ladung ermöglicht, über seine Oberfläche und/oder durch sein Volumen innerhalb kürzester Zeit abzufließen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Endfilter

    Das Endfilter ist ein Luftfilter, das zum Abscheiden des synthetischen Staubes, der durch den Prüfling hindurchtritt, dient. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Letzter Filter zwischen Luftzufuhr und einem Reinen Bereich (Quelle: ÖNORM ENV 1631, 1996 Wien)

    Endprodukt

    Medizinprodukt im gebrauchsfähigen Zustand, wie in der Spezifikation oder Kennzeichnung durch den Hersteller festgelegt. [DIN EN ISO 10993-1] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Endreinigung

    Letzter Reinigungsschritt im Herstellungsprozess, mit dem Bearbeitungsrückständensoweit abgereichert werden, dass bestehende Reinheitsanforderungen aus medizinischer, technischer, oder sonstiger Notwendigkeit erfüllt werden. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    EP

    Electropolished; elektropoliert (Quelle: SEMI F28-1103, test method for measuring particle generation from process panels, 2003)

    EPS

    Expanded polystyrene; expandiertes Polystrol (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

    Erdableitwiderstand

    Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode auf der Oberfläche des Werkstoffs und dem Werkstoff-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V liegt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    (Prüfung der) Erholzeit

    “Die Prüfung der Erholzeit wird durchgeführt, um zu bestimmen, ob die Anlage in der Lage ist, nach kurzer Beaufschlagung durch eine Quelle von luftgetragenen Partikeln innerhalb einer begrenzten Zeitspanne wieder zu ihrer festgelegten Reinheitsklasse zurückzukehren. Diese Prüfung wird für Anlagen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung nicht empfohlen. Das Verfahren für diese Prüfung wird in B.12 angegeben. (Anmerkung: Bei Verwendung eines künstlichen Aerosols sollte eine Restkontamination der Anlage vermieden werden.)” (Quelle: DIN EN ISO 14644-3:2005, Kapitel 4.2.9 Prüfung der Erholzeit)

    Im Gegensatz zur Prüfung der Erholzeit von Reinräumen, bei denen es nur in turbulenten Bereichen sinnvoll ist, wird die Erholzeit in Minienvironments, in denen meist eine turbulenzarme Verdrängungsströmung herrscht, auch durchgeführt. Richtlinien aus der Halbleiterindustrie schlagen eine Erholzeit in Minienvironments von einer (1) Minute vor. Dies kann gegebenenfalls auf Grund der Komplexität einer Maschine mit Minienvironment und/ oder einer geringen Luftgeschwindigkeit innerhalb des Minienvironments von dieser Vorgabe abweichen.

    Erneuerungsschritt

    Der Erneuerungsschritt ist der lineare Vorschub des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium.

    Er wird in cm angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Erstprüfung (Qualifizierung)

    Prüfung bei Übergabe an den Auftraggeber zum Nachweis, dass die vereinbarten Akzeptanzkriterien eingehalten werden (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Extraktion

    Extraktion beschreibt ein probenehmendes Verfahren, um Partikel mittels Prüfflüssigkeit vom Bauteil abzutragen und diese auf einen Analysefilter zu sammeln.

    Extraktionsmethoden:

    • Spritzen
    • Ultraschall
    • Spülen

    (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Begriffe der Reinraumtechnik von F bis J

    Fachkräfte

    Als Fachkraft gilt, wer aufgrund seiner fachlichen Ausbildung, Kenntnisse und Erfahrungen sowie Kenntnis der einschlägigen Bestimmungen die ihm übertragenen Arbeiten beurteilen und mögliche Gefahren erkennen kann. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

    Fallstromkabine

    Durch Hüllkonstruktionen geschlossener, ortsfester reiner Arbeitsplatz mit vertikaler turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

    Fasern

    Nicht metallische Partikel, die bei gleichzeitig einheitlichem Querschnitt eine sehr große Länge im Vergleich zur Breite aufweisen. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Feinreinigung

    Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 10 300. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Feinstreinigung

    Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 1 000. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    FFT

    Fast fourier transformation; schnelle Fourier Umwandlung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    FFU (Fan-Filter-Unit/ Filter-Ventilator-Einheit)

    Modul, bestehend aus einem oder mehreren Ventilatoren oder mehreren Filterelementen zur Erzeugung eines reinen Luftstroms (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Filter

    Eingebautes Filter

    Aus Filtermedium, Filterrahmen und Haltesystem bestehende Einheit, welche in Decke, Wand, in ein Gerät oder in einen Luftkanal eingebaut ist.

    Endständiges Filter

    Unmittelbar am Kanalende (am Luftaustritt in den Reinraum) installiertes Filter.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

     

    Flottenverhältnis

    Verhältnis zwischen Flüssigkeit und Trockengewicht der gewaschenen Bekleidungsstücke

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 5.2, Oktober 2008)

    Flowbox

    Veralteter und inzwischen ungebräuchlicher Begriff. Der Begriff Flowbox wird durch Kunden für verschiedene Produkte verwendet und ist daher missverständlich. Diese Produkte sind:

    • Lüfter-Filter-Module /FFM
    • Reinluft-Abeitsplätze
    • Reinraumkabinen

    Fluid

    Flüssigkeit oder Gas mit Ausnahme der Raumluft, die oder das in einem Reinen Bereich verwendet bzw. diesem zugeführt wird. (Quelle: ÖNORM ENV 1631, 1996 Wien)

    Fluoreszenzmarker

    Stoffe, die sichtbares Licht bei Anregung mit kurzwelligem Licht bis ins Ultraviolett oder durch Elektronenbeschuss emittieren.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    FMS

    Abkürzung für flexible manufacturing system; ein flexibles Fertigungssystem (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Fortluft

    Fortluft ist die aus dem reinen Bereich in die freie Atmosphäre abgeführte Luft.

    Fraktionierendes Partikelzählverfahren

    Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch eine Größenklassifizierung der Partikel ermöglicht (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers) (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Freie Filterfläche

    Die freie Filterfläche ist die Druckdifferenz des sauberen Prüflings im Betrieb die Nennvolumenstrom. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Freifeld

    Das Freifeld ist ein Schallfeld ohne Begrenzungsflächen oder mit absorbierenden Begrenzungsflächen, deren Einfluss auf das Schallfeld im Bereich des Messfläche im interessierenden Frequenzbereich vernachlässigbar ist. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Fremdgeräsuch

    Als Fremdgeräusch gilt jedes Geräusch, das nicht von der zu untersuchenden Maschine erzeugt wird oder das von angeschlossenen Bauteilen, die nicht zum Messgegenstand gehören, unmittelbar ausgestrahlt wird. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Fügeeinheiten

    Montagegruppen aller Fertigstellgrade (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Fügeprozesse

    Montagarbeiten, wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindenachschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Gangzone (GZ)

    Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Gase

    Sind Stoffe in einem Aggregatzustand, in dem Moleküle infolge Brown’scher Molekularbewegung frei im Raum bewegen können und bei Umgebungsbedingungen nicht kondensieren. Die mittleren Abstände der Moleküle gegenüber ihren Abmessungen sind groß. Die Moleküle haben daher das Bestreben, den ihnen zur Verfügung stehenden Raum gleichmäßig auszufüllen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Gebrauchsnormal

    Normal, das routinemäßig benutzt wird, um Maßverkörperungen, Messgeräte oder Referenzmaterialien zu kalibrieren oder zu prüfen. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.7[1]] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Genauigkeit, Genauigkeitsklasse

    Die Genauigkeit ist die allgemeine qualitative Bezeichnung für die Annäherung von Beurteilungsergebnissen (Beobachtungs-, Berechnungs- sowie statistische Schätzergebnisse) an die exakten oder an die wahren Werte. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Gerätespezifikationen
    • Streulicht- Einzelpartikelzähler

    LSAPC (en: light scattering (discrete) airborne particle counter)

    Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen und Größendaten

    als optische Äquivalentdurchmesser auszugeben

    • Makropartikel-Einzelzähler

    Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Makropartikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen

    • Partikeldepositionszeitmessgerät

    Gerät zur Einzelpartikelzählung und -größenbestimmung, das den aerodynamischen Durchmesser von Partikeln durch

    Messung der Zeit bestimmt, die vergeht, bis sich ein Partikel einer Änderung der Luftgeschwindigkeit angepasst hat”

    (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Geregelter Betriebszustand

    Der geregelte Betriebszustand ist eine Betriebsweise, bei der eine gleichmäßige Erneuerung des Filtermediums eines Luftfilters mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium eine sich annährend wiederholende gleichartige Auswirkung auf die Leistungswerte hat, die dadurch gesteuert werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    GFAAS

    Graphite furnace atomic absorption spectroscopy; atomare Absorptionsspektroskopie im Graphitrohr (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Grauraum, Graubereich, Grauzone

    veralterer Begriff, Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte Partikelreinheitsklasse der Luft nach ISO 14644-1 und geringerer Partikelkonzentration als in der Außenluft

    Grauzone

    Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte RKL und geringere Partikelkonzentration als die Außenatmosphäre (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Grobreinigung

    Reinigung aller Materialien für den Montageprozeß des EMB (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Grundrauschen

    Partikelkonzentration, die durch die Raumlufttechnische Anlage in die Prüfumgebung eingebracht wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Handlingsbereich (Produktraum)

    Bereich, in dem das Produkt vor, während und nach dem Prozess manuell oder automatisiert bewegt wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Hardwall-Kabine

    Im Gegensatz zur Softwall-Kabine ist die Hardwall-Kabine ein Reinraum mit festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Hartschaum, Edelstahl-Lochblech und Einscheibensicherheitsglas bestehen.

    HEPA-Filter

    Das High Efficiency Particulate Air-Filter ist ein Schwebstofffilter in einem starren Rahmen. Der minimale Abscheidegrad ist ≥ 99,95% nach EN 1822.

    • Abscheidegrad H13 ≥ 99,95%
    • Abscheidegrad H14 ≥ 99,995%

    Horizontale turbulenzarme Verdrängungsströmung

    Die horizontal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine horizontale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

    Horizontalströmung

    Die Luftströmung verläuft waagerecht aus der Filterwand und fällt mit der Entfernung langsam zum Boden ab. Dieses Prinzip bietet sich an, wenn der vertikale Luftstrom durch den Aufbau von Maschinen verhindert wird, oder die verunreinigte Luft nur horizontal abgeführt werden soll/kann.

    Impingement

    Abscheidung von luftgetragenen Partikeln in Flüssigkeiten durch mehrere zugrunde liegende Mechanismen wie Impaktion, Diffusion, Interzeption und Sedimentation. [VDI 4252 Blatt 3 und VDI 4257 Blatt 2]
    (Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Impinger

    Spezielle Gaswaschflasche aus Glas oder Teflon, die dem Sammeln von Luftbestandteilen dient. Die Luft wird im Impinger in Kontakt mit einer Sammelflüssigkeit (Lösemittel oder Sorptionsmedium) gebracht [VDI 2083, Blatt 8.]
    (Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Inbetriebnahme

    Erst-Inbetriebnahme

    Vorbereitung und Inbetriebnahme einer Reinraumanlage einschließlich aller Systeme nach Durchführung einer baulichen Maßnahme. Alle für die Funktion eines Systems relevanten Vorgänge und Erfordernisse werden dazugerechnet, z.B. Dokumentation, Schulung und der Betrieb von Hilfseinrichtungen.

    Inbetriebnahme

    Geplante und dokumentierte Reihe von Inspektionen, Einstellungen und Prüfungen, die systematisch mit dem Ziel durchgeführt werden, die Reinraumanlage bestimmungsgemäß in Betrieb zu setzen.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

    Indirektes Prüfverfahren

    Beurteilung der zu bestimmenden Verunreinigung mit Zwischenschritten durch Ablösung der Verunreinigung vom Bauteil. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.4] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    In operation (Fertigung)

    Einsatzbereit und in Betrieb bei laufender Fertigung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    I-Prozess-Kontrolle (IPK)

    In-process control, IPC

    Im Verlauf eines Produktionsprozesses durchgeführte Kontrollen, die zur Überwachung und Steuerung des Prozesses dienen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Integrierte Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

    Die gesamte Zuluft für den reinen Bereich wird über LF-Geräte geleitet, die durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung den Reinheitsgrad der Luft örtlich senken. Der übrige Bereich wird durch gezielte Luftführung turbulent durchlüftet.

    Installationsgeschoss # veraltet aus dem Jahr 1984

    Bei sehr hohem Installationsgrad und dem Erfordernis, den Installationsraum häufig zu begehen, kann ein Installationsgeschoss erforderlich sein.

    Installationsraum

    Bereich innerhalb des Reinraumgeschosses zur Installation von Versorgungstechnik, lufttechnischen Anlagenteilen.

    IPA

    isopropyl alcohol (2-propanol); Propylalkohol (2-Propanol) (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

    I/O

    Input/Output; Eingabe / Ausgabe (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    ISO

    Internationale Organisation für Standardisierung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    ISO-Klasse

    “Grad (oder die Vorgehensweise der Festlegung oder Bestimmung des Grads) der Partikelreinheit der Luft, der für einen Reinraum oder Reinen Bereich verwendet wird. Der Grad wird in Form von einer ISO-Klasse N ausgedrückt, welche den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen (in Partikel je Kubikmeter Luft) für die betrachteten Partikelgrößen darstellt.”

    (Quelle: DIN EN ISO 14644-2:1999, Kapitel 2.1.4 Klassifizierung)

    In der überarbeiteten Richtlinie aus dem Jahr 2016 ist hierbei jedoch nur folgende Definition für die Klassifizierung zu finden: “Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich. Anmerkung 1 zum Begriff: Die Grade sollten als ISO-Klasse angegeben werden, die den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen von Partikeln in einer Einheit des Luftvolumens darstellt.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06, Kapitel 3.1.4 Klassifizierung)

    Eine ISO-Klasse 1 stellt dabei die beste Luftreinheit dar mit weniger und kleineren luftgetragenen Partikeln, als in der ISO-Klasse 5 beispielsweise zu finden.

    Integriertes Mini-Environment

    Mini-Environment, das mit dem Prozesstool fest verbunden oder in dieses integriert ist und damit fester Bestandteil des Prozesstools ist (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Integriertes Partikelzählverfahren

    Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln – ohne Größenklassifizierung – in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers). (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Isolierendes Material

    Material mit sehr geringer Ladungsbeweglichkeit, sodass auftretende Ladungen nicht abgeführt werden (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Begriffe der Reinraumtechnik von K bis O

    Kalibrierung

    Vergleich eines Messstandards oder eines Instruments mit unbekannter Genauigkeit mit einem anderen Standard oder Instrument mit bekannter Genauigkeit. Die Kalibrierung soll der Bestimmung, Zuordnung, Beschreibung oder Beseitigung jeglicher Abweichung in der Genauigkeit des unbekannten Standards oder Instruments dienen. Bei Abweichungen ist eine Justierung vorzunehmen. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Keimbelastung

    Ansiedlung (Population)

    Von lebensfähigen Mikroorganismen auf bzw. in einem Produkt und/ oder einem Sterilbarrieresystem. [DIN EN ISO 11139] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Keimreduktion

    Reduzierung der Anzahl lebensfähiger Mikroorganismen.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Kernbereich

    Bereich, in dem ein Prozess abläuft und Wechselwirkungen zwischen Prozess und Umgebung stattfinden.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

    Killerpartikel

    Einzelne Partikel, welche aufgrund ihrer physikalischen Eigenschaften (Größe, Form und Material) zum Totalausfall einer Komponente oder ganzer Systeme führen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Klassifizierung

    “Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Nach ISO 14644-1 muss die Reinheit in einem Reinraum oder reinen Bereich für mindestens einen der folgenden Betriebszustände festgelegt sein:

    • Bereitstellung
    • as-built: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, ohne Personal und ohne stattfindende Produktion Leerlauf
    • at-rest: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, mit laufenden Produktionseinrichtungen, ohne Personal Fertigung
    • in-operation: In Betrieb befindlicher Reinraum mit laufender Produktion und arbeitendem Personal.

    Die Abnahmemessung nach Fertigstellung eines Reinraumes findet üblicherweise im Betriebszustand as-built statt, bei einer Reinraum(re-)qualifizierung werden die Zustände at-rest und/oder in-operation betrachtet. Zur Anwendung und Methodik der Reinraumklassifizierung ist auch die Richtlinie VDI 2083 zu beachten.

    Kolonienbildende Einheit (KBE)

    Die Einheit, in der die Anzahl der anzüchtbaren Mikroorganismen ausgedrückt wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Kombinierte Luftströmung

    Innerhalb eines reinen Bereiches mit Turbulenzströmung befinden sich Zonen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung.

    Kondensationskernzähler

    Ein Instrument zur Zählung kleiner luftgetragener Partikel, ca 0,01 μm und größer, durch optische Detektion von Tröpfchen, die sich durch Kondensation von Dampf auf den kleinen Partikeln bilden. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Kondensierbare Kontaminante

    Substanz die in der Lage ist, sich unter Reinraumbedingungen durch Kondensation auf einer Oberfläche abzulagern (siehe ISO 14644-8).

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

    Kontaminante

    Substanz, die die Eigenschaften des Produktes, Prozesses oder Equipments unerwünscht und stark wahrnehmbar chemisch oder physikalisch verändert oder sich schädlich auf Mensch und Umwelt auswirkt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Kontaminante, organische

    Mit wenigen Ausnahmen umfassen organische Kontaminanten alle Verbindungen, die der Kohlenstoff mit sich selbst und anderen Verbindungen eingeht. Ausnahmen sind beispielsweise Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Schwefelkohlenstoff, Kohlensäure, Karbonate (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Kontaminantenfamilie

    Gruppe von Kontaminanten mit ähnlichen chemischen Eigenschaften (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Kontamination

    Kontamination ist die Verunreinigung der Luft oder einer Oberfläche mit Teilchen.

    Kontaminationskontrolle

    Sicherstellung einer Umgebung, in der Anzahlkonzentration der Partikel in der Luft der direkten Prozessumgebung kontrolliert oder minimiert wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Korrekturmaßnahme (Corrective Action):

    Maßnahme zum Beseitigen der Ursache einer Nichtkormität und zum Verhindern des erneuten Auftretens. [DIN EN ISO 9000, 3.12.2] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Korrosion

    Reaktion eines metallischen Werkstoffs mit seiner Umgebung, die eine messbare Veränderung des Werkstoffs bewirkt und zu einer Beeinträchtigung der Funktion eines metallischen Bauteils oder eines ganzen Systems führen kann (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Kreuzkontamination

    Kreuzkontaminationen sind Kontaminationen von Personen oder benachbarter Prozesse, die den zu betrachtenden Prozess negativ beeinflussen. Die Möglichkeit einer Kreuzkontamination ist vor allem in Reinräumen mit turbulenter Mischlüftung gegeben. Bei Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung oder in Minienvironments ist die Gefahr einer Kreuzkontamination geringer, da dort die Kontaminationen gezielt in unkritische Bereiche abgeführt werden.

    Kritische Verunreinigung

    Im Rahmen der Reinheitsbewertung ermittelte Verunreinigung, die sich negativ auf Patient, Anwender, Produkt oder Prozess auswirken kann. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Laminarbox # veraltet aus dem Jahr 1984

    Offener, beweglicher reiner Arbeitsplatz mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

    Lärm

    Lärm im Sinne der Lärm- und Vibrations-Arbeitsschutzverordnung ist jeder Schall im Frequenzbereich zwischen 16 Hz und 16kHz (Hörschall), der zu einer Beeinträchtigung des Hörvermögens oder zu einer sonstigen mittelbaren oder unmittelbaren Gefährdung von Sicherheit und Gesundheit der Beschäftigten führen kann. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

    LCS

    Laser Current Sensoor; Laser-Strom-Sensor (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

    Leck

    Durch ein Leck tritt an einer Stelle (z.B. Filter, Reinraumdecke,…) unkontrolliert verunreinigte Luft in den reinen Bereich, die mit ihrem Reinheitsgrad die zulässige Teilchenzahl örtlich überschreitet.

    Leckortung

    Qualitative räumliche Zuordnung von Lecks ohne Bestimmung von Luftdurchlässigkeiten (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Lichtdurchlässigkeit

    Die Lichtdurchlässigkeit ist das Verhältnis aus der Größe des Lichtstroms, der durch ein durchscheinbares Material trifft zu dem Lichtstrom, der ihm zugeführt wird. Sie wird in % angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Low Boron

    Immer häufiger erreicht uns die Nachfrage, ob und wie viel Bor in unseren Produkten enthalten ist. Es wird von LowBoron-Medien gesprochen. Doch was macht Bor eigentlich so gefährlich?

    In geringen Mengen ist das Halbmetall Bor nicht gefährlich. Auch in der Nahrung ist es in kleinen Mengen enthalten und kann über die Nieren bei einem gesunden Menschen innerhalb von 3-4 Tagen wieder ausgeschieden werden. Bei einer andauernden Aufnahme von Borverbindungen kann es jedoch zu einer chronischen Vergiftung kommen. Es können Symptome wie Übelkeit und Erbrechen auftreten. Außerdem kann Bor das Zentrale Nervensystem und die Nieren schädigen und die Fruchtbarkeit bei Männern und Frauen beeinträchtigen.

    Doch auch auf Produkte kann Bor einen negativen Einfluss haben. Bor in seiner Ursprungsform ist ein festes Halbmetall. In Kombination mit Wärme und Sauerstoff bildet sich das gasförmige Boroxid B2O3. Wird dies wiederrum in Wasser gelöst kann sich ätzende Borsäure bilden.

    Bor wird bei der Glasherstellung ins Material eingebracht. Somit sind HEPA-Filter eher mit Bor belastet als PTFE-Filter. Filter mit der Bezeichnung LowBoron wurden nur etwas „gelüftet“, so dass das Bor ausgedünstet ist.

    Ein minimales Restrisiko liegt dann bei den Dicht-/Klebestoffen. Jedoch haben wir dahingehend noch nie Hinweise erhalten.

    Luftdurchlässigkeit

    Nach dieser Richtlinie gemessener und auf das Containment bezogener Leckluftvolumenstrom (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Lüfter-Filter-Modul

    (auch Filter-Fan-Unit (FFU)) oder Filter-Fan-Modul (FFM)) Ein Lüfter-Filter-Modul ist eine kompakte Versorgungseinheit für Reinstluft. Diese Module bestehen in den meisten Fällen aus Gehäuse, Filterelement (HEPA- oder ULPA-Filter) und Ventilator. Produktabhängig kann es zu geringfügigen Abweichungen vom Grundaufbau kommen. Ggf. kann ein Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilterelementen ausgestattet sein. Diese werden zum Schutz des HEPA/ULPA-Filters vor Grobstaub eingesetzt. In Sonderfällen können diese Vorfilter als chemische Filter ausgelegt sein, um molekulare Verunreinigungen aus der Luft herauszufiltern. Lüfter-Filter-Mdoul mit Beschriftung

    Luftfremde Stoffe

    Im Sinne dieser Richtlinie (Gefahrstoffe, belästigende Stoffe) sind alle in der Luft enthaltenen Stoffe, die nicht zu der normalen Luftzusammensetzung gehören. Diese treten als Gase, Dämpfe, Nebel, Rauche und Stäube auf. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Luftwechselzahl

    Zahlenwert, der den Luftwechsel im reinen Bereich, bezogen auf die Zeiteinheit 1 Stunde angibt.

    Makropartikel

    “Partikel mit einem Äquivalentdurchmesser größer als 5 μm” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Materialschleuse

    Entspricht der Personenschleuse, jedoch den unterschiedlichen Transportbedingungen angepasst.

    Maximaler Betriebsdifferenzdruck

    Maximal zulässiger Differenzdruck über das Containment, der im laufenden Betrieb einschließlich der Ein-, Aus- und Umschaltvorgänge auftreten darf (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    M-Deskriptor

    “Bezeichnung für die gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, angegeben in Form eines Äquivalentdurchmessers, der für das verwendete Messverfahren charakteristisch ist” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Messabstand d

    Der Messabstand d ist der kleinste Abstand der Messfläche vom Bezugsquader. Der einer Quader-Messfläche ist d der Abstand der parallelen Seitenflächen von Messfläche und Bezugsquader. Bei einer (Halb-)Kugel-Messfläche ist d der kürzeste Abstand der Ecken des Bezugsquaders zur Messfläche. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984) (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Messfläche

    Die Messfläche ist eine gedachte Fläche (Hüllfläche), die die Maschine umhüllt, gegebenenfalls an reflektierenden Ebenen endet und auf der die Messpunkte liegen. Der Inhalt der Messfläche (Messflächeninhalt) wird mit S bezeichnet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Messprinzip

    Phänomen, das als Grundlage einer Messung dient. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 2.4[1]] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Messsystemanalyse (MSA)

    Überprüfung der Eignung eines Messsystems für die vorgesehene Messaufgabe (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Messverfahren

    Methode zur Bestimmung von Messgrößen (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Methodenvalidierung

    <Analytik> formeller und dokumentierter Nachweis, dass eine chemische, physikalische oder biologische Analysemethode für ihren Einsatzzweck geeignet ist und die an sie gestellten Anforderungen erfüllt. [in Anlehnung an DIN EN ISO 90000,3.8.13] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Minienvironment

    Das Minienvironment ist ein lokaler Reinraum, der die saubere / reine Produktionsumgebung im bzw. unmittelbar um eine Maschine herum realisiert. Der Begriff ist im Halbleiterstandard von SEMI definiert. Er ist beschrieben als „a localised environment created by an enclosure to isolate the product from contamination and people” (SEMI E44-95 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments). Die für viele Prozesse in Hochtechnologiebereichen heutzutage notwendige Reinheit kann meist nur in Minienvironment realisiert werden, da man dadurch einen optimalen Schutz vor Kreuzkontaminationen erhält. Zusätzlich erreicht man bei einer konsequenten Einhaltung der technologischen Prozesse innerhalb der Minienvironments und Gestaltung der Schnittstellen zwischen diesen (Produktübergabe), dass die Bedingungen des umgebenden Raumes (Reinraum) nicht den hohen Ansprüchen der Prozesse mehr genügen muss, sondern eine geringere Luftreinheitsklasse ausreichend ist. Dies macht sich vordergründig bei den laufenden Kosten einer Fertigung im Reinraum bemerkbar.

    MMPS

    Most penetrating particle size; am meisten durchdringende Partikelgröße (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    MNS

    Median Noise Sensor; mittlerer Lärmsensor (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

    Monitoring

    “Unmittelbare systematische Erfassung, Beobachtung und Überwachung von Messgrößen mit den Kernfunktionen

    • Datenerfassung,
    • Vergleich mit den Vorgabewerten, gegebenenfalls Alarmierung,
    • Darstellung/ Visualisierung und
    • Datenspeicherung/Datenarchivierung.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

    Nanopartikel (nanoskaliges Partikel, ultrafeines Partikel)

    Partikel, dessen drei äußere Abmessungen nanoskalig sind. (Quelle: VDI 2083, Blatt 1.1, Düsseldorf 2021)

    Nanoskalig

    Eigenschaft eines Partikels, im Größenbereich von 1 nm bis 100 nm zu liegen. (Quelle: VDI 2083, Blatt 1., Düsseldorf 2021)

    NC

    Noise criteria; Lärmkriterium (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Nebel

    Bei Nebeln handelt es sich um feine und feinste Flüssigkeitstropfen. Nebel tritt nur in für den jeweiligen Stoff charakteristischen engen Temperatur- und Druckbereichen auf; neben der Flüssigphase liegt gleichzeitig die Dampfphase vor. Nebel entstehen auch durch rein mechanische Vorgänge, z.B. durch Zerplatzen von Flüssigkeitstropfen. Die Partikelgröße hängt ab vom Entstehungsprozess; durch Kondensation entstandene Nebeltröpfchen sind meist kleiner als die durch mechanische Vorgänge entstandenen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Nenn-Druckdifferenz

    Druckdifferenz in N/m² bei spezifischem Nenn-Volumenstrom des nicht vorbeladenen filternden Materials. (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

    Nennwert der Enddruckdifferenz

    Der Nennwert der Enddurckddifferenz ist die größte betriebliche Druckdifferenz des Prüflings, nach den Empfehlungen des Herstellers bei Nennvolumenstrom. 

    Sie wird in Pa angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Nichtkonformität

    Abweichung von oder Nichterfüllung einer Anforderung. [in Anlehnung an DIN EN ISO 9000, 3.6.9] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Nicht-partikelförmige Verunreinigung

    Flüssige oder pastöse, filmartige Verunreinigung, die den Prozess, das Produkt, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Not in operation (Leerlauf)

    Einsatzbereit und in Betrieb ohne laufende Fertigung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Obere Betreibsdruckdifferenz

    Die obere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über Druck gesteuert werden, in Gang gesetzt wird. 

    Sie wird in Pa angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Oberfläche

    “Oberflächen im Sinne der vorliegenden Richtlinie sind alle Flächen die

    • dem reinen Bereich zugewandt sind, 
    • sich im reinen Bereich befinden und/oder
    • mit dem hergestellten Produkt in Berührung kommen.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3 Oberflächen)

    Oberflächeneigenschaften

    Eigenschaften, die im Hinblick auf die Oberflächenreinheit von Bedeutung sind (z.B. Rauheit, Ableitfähigkeit, Reinigbarkeit, Zugänglichkeit, Welligkeit) (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Oberflächenreinheit (partikulär)

    “Oberflächenreinheit im Sinne der vorliegenden Richtlinie ist die Abwesenheit von partikulären Verunreinigungen, die den Prozess, das Produkt, das Personal oder die Einrichtungen beeinträchtigen können.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3.1 Oberflächenreinheit (partikulär))

    Oberflächenreinheitsklasse (partikulär)

    “Anzahl von Einzelpartikeln auf einer Bezugsfläche von 1 cm², bezogen auf einen Referenzpartikeldurchmesser von 1 µm, in einem dekadischen Bewertungssystem.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3.2 Oberflächenreinheitsklasse (partikulär))

    Oberflächenwiderstand

    elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei Elektroden an einer Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    OEL-Wert

    OEL-Werte (Occupational Exposure Limits) sind arbeitsschutzbezogene Grenzwerte für Gefahrstoffe in der Atemluft (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

    OEM

    Original equipment manufacturer; originaler Geräthersteller (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Offline-Messverfahren

    “Messverfahren, bei dem Messdaten in zeitlichem Abstand von der Erfassung von Zeit zu Zeit an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

    Online-Messverfahren

    “Messverfahren, bei dem Messdaten direkt, nahezu zeitgleich mit der Erfassung, an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

    OPC

    Airborne optical particle counter; optischer Partikelluftzähler (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Optischer Partikelzähler

    Ein auf Streulicht-Prinzip basierendes Instrument mit Anzeige und/ oder Aufzeichnungseinrichtung zur Zählung und Größenbestimmung einzelner Partikel in der Luft. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Begriffe der Reinraumtechnik von P bis T

    Partikel

    „kleines Teil Materie mit physikalisch definierten Abgrenzungen” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

    Partikelemissionsverhalten

    Quantitative Beschreibung der von einem Werkstoff unter bestimmter Belastung ausgehenden Partikelemission (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Partikelgröße

    “Durchmesser einer Kugel, der mit Hilfe einer Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße gemessen werden kann, deren Messgröße in vergleichbarem Zusammenhang mit der Messgröße des Partikels steht” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

    Partikelgrößenverteilung

    “Summenhäufigkeitsverteilung der Partikelkonzentration, dargestellt als Funktion der Partikelgröße” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

    Partikelkonzentration

    “Anzahl der einzelnen Partikel je Volumeneinheit Luft” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

    Partikelreinheitsklasse der Luft

    Die Reinheit der Luft muss durch die Angabe der maximal zulässigen Anzahl luftgetragener Partikel klassifiziert werden. Die Klassifizierung ist in der ISO 14644-1 und der VDI 2083-1 beschrieben. Die Partikelreinheitsklassen der Luft werden durch Messung der Partikelkonzentration ermittelt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft gilt als erreicht, wenn die gemessene Partikelkonzentration in jeder vorab festgelegten Partikelgröße die Grenzkonzentration einhält. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

    • As built – Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
    • At rest – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
    • In operation – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

    Partikelstrom

    Anzahl an Partikeln, die je Zeiteinheit gemessen oder durch einen bestimmten Querschnitt transportiert werden. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Partikelstromprofil

    Örtliche Verteilung des Partikelstroms in einer Ebene senkrecht zur Strömungsrichtung. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Partikelvorfilter

    Vorfilter zur Abscheidung von Partikeln werden in Grobstaubfilter und Feinstaubfilter unterteilt. Die Grobstaubfilter werden in die Klasse G1 bis G4 eingeteilt, die Feinstaubfilter in die Klassen F5 bis F9. Im Aufbau unterscheiden sich diese in Filtermatten, Taschenfilter, Kompaktfilter u.a.. Ggf. können auch HEPA- oder ULPA-Filter als Vorfilterelemente eingesetzt werden. Die HEPA-Filter werden in die Klasse H10 bis H14 und die ULPA-Filter in die Klasse U15 bis U17 eingeteilt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

    • As built: Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
    • At rest: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
    • In operation: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

    Partikuläre Verunreinigung

    Teilchen, die den Prozess, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Passives Mini-Environment

    Mini-Environment, das durch eine Einhausung oder Umschließung das Produkt schützt, indem es von der Umgebung abtrennt (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Penetration

    Die Durchdringung des Filtermediums wird als Penetration bezeichnet und ist das Verhältnis der Partikelkonzentration, welche das Filtermedium verlässt zur Partikelkonzentration, welche in das Filtermedium eindringt. Sie wird in Prozent ausgedrückt und basiert auf speziellen Partikelgrößen.

    Personenschleuse

    Abgegrenzter reiner Bereich mit wechselseitig verriegelbaren Türen und eventuell eingebauten Luftduschen. Sie dienen dem Druckausgleich und Übergang in reine Bereiche unterschiedlicher Reinheitsklassen.

    PO

    Purchase Order; Bestellung/ Auftrag (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

    POC

    point of connection; der Punkt, an dem das Äußere mit dem Inneren verbunden ist (Quelle: SEMI F42-0600, test method for semiconductor processing equipment voltage sag immunity, 1999)

    Potenzielle Verunreinigung

    Im Rahmen der Risikobetrachtung ermittelte Verunreinigung, die im Herstellungsprozess auf das Medizinprodukt gelangen kann oder potenziell auf den Ausgangsmaterialien vorhanden ist. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    POU(s)

    Bereich, innerhalb dessen festgelegte Parameter eingehalten werden müssen (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Präzision des Verfahrens

    Die Präzision des Verfahrens ist die qualitative Bezeichnung für das Ausmaß der Übereinstimmung zwischen Ergebnissen, wie sie bei wiederholter Anwendung eines festgelegten Ermittlungsverfahrens gewonnen werden. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Pre-Acceptance

    Qualitative und quantitative Überprüfung der spezifizierten Parameter und/ oder Abnahmekriterien eines Mini-Environments beim Auftragnehmer nach Herstellung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Probenahme

    Passives oder aktives Erfassen oder Aufnehmen der repräsentativen Teilmenge aus einer Gesamtheit einer Biokontamination (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Probenahmedauer

    Zeitraum in dem anströmseitig und abströmseitig die Partikel im Probenahmevolumenstrom gezählt werden (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Probenahmevolumenstrom

    Anteil des anströmseitigen oder abströmseitigen Volumenstroms, der der Messzelle zur Ermittlung der anströmseitigen bzw. abströmseitigen Partikelanzahl zugeleitet wird. Bei Partikelzählern, die nur einen Teilstrom des der Messzelle zugeleiteten Volumenstroms analysieren, wird dieser analysierte Anteil als Probenahmevolumenstrom bezeichnet. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

    Prüfaerosol

    Prüfaerosole werden in der Reinraumtechnik zur Kalibrierung von Partikelzählern und zur Prüfung der Filter eingesetzt. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Klassifizierung der Filter anhand ihrer Filtereffektivität gegenüber diesen Partikelgrößen mittels DEHS-Prüfaerosol (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat)

    Prüfanschmutzung (Prüfverfolgungseinheit)

    Substanz mit oder ohne Mikroorganismen, die zur Bestimmung des Reinigungs- oder Desinfektionserfolgs verwendet wird(Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Prüfdifferenzdruck

    bei der Prüfung eingestellter Druck (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Prüfling

    Ein Prüfling ist ein Luftfilter, das in der Raumlufttechnik zum Abscheiden von Staubteilchen verwendet wird und das nach dieser Norm geprüft wird. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Prüflosgröße

    Anzahl der in einer Reinheitsbestimmung gemeinsam analysierten Punkte. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Prüfluft

    Die Prüfluft ist die Außenluft mit den zur Zeit des Versuches in der Beruhigungskammer vorhandenen Eigenschaften: Temperatur, Druck und Gehalt an atmosphärischem Staub, die relative Luftfeuchte in den Grenzen, wie in Abschnitt 5.2 beschrieben, Bei der Bestimmung des Abscheidegrades gegenüber synthetischem Staub darf als Prüfluft auch Raumluft benutzt werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Prüfung

    “Auflösung

    kleinste Änderung in einer gemessenen Größe, die zu einer wahrnehmbaren Veränderung der entsprechenden Anzeige führt

    • maximal zulässige Messabweichung

    maximal zulässige Fehlergrenze

    Extremwert des Messabweichung in Bezug auf einen bekannten Referenzgrößenwert, der durch Spezifikationen oder Vorschriften für die jeweilige Messung, das gegebene Messgerät oder Messsystem zulässig ist”

    (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Prüfverfahren

    Gesamtprozess von den Probenahmen bis zur Interpretation der Ergebnisse und Dokumentation (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Prüfverfahren (Messverfahren, Prüfmethode)

    Festgelegte technische Verfahrensweise für die Durchführung einer Prüfung oder Kalibrierung auf der Grundlage eines Messprinzips. [DakkS 71 SD 0 002] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    PWP

    Particles per wafer pass; Partikelanzahl pro Halbleiter-Durchlauf (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Qualifizierung

    Arbeitsablauf nach einem definierten Verfahren, der zur Bestimmung und/ oder Überprüfung der Leistung einer Reinraumanlage oder eines Teils derselben dient.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

    Qualitätsprüfung

    Feststellen, inwieweit eine Einheit eine Qualitätsanforderung erfüllt [DIN 55350-17] (Quelle: VDI 2083, Blatt 1., Düsseldorf 2021)

    Qualitatives Prüfverfahren

    Prüfverfahren, das Informationen zur Identifizierung des Bestandteile oder der Zusammensetzung von Stoffen sowie Stoffegemsichen liefert, ohne einen Aufschluss über Mengenverhältnisse zu geben. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Quantitatives Prüfverfahren

    Prüfverfahren, das Informationen über die Menge eines zu bestimmenden Stoffs liefert. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Rauche

    Sind feste Schwebstoffe; sie entstehen überwiegend bei thermischen Prozessen. Charakteristische Beispiele hierfür sind die sog. metallurgischen Rauche. Die Partikelgrößen von Rauchen sind meist sehr klein und liegen teilweise deutlich unter 1 μm. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Raum

    Zu prüfendes System; Beispiel Reinraum, Isolator (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

    Raumgruppe # veraltet aus dem Jahr 1984

    Durch Stufung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) sind für das Gesundheitswesen der DDR  Raumgruppen festgelegt (I, II, III, IV)

    Raumlufttechnik (Raumlüftung)

    Ist die Zufuhr von Luft in einen Raum zum Verdrängen oder Verdünnen luftfremder Stoffe und zur Aufrechterhaltung eines bestimmten Raumklimas. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Raumlufttechnische Anlage

    Zusammenfassender Begriff für Klima-Luft- und Filtertechnik

    Re-Acceptance

    Überprüfung oder Kontrolle der bei der Acceptance protokollierten Ergebnisse (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Regulierter Betrieb

    “(Betrieb im regulierten Umfeld)

    Betrieb einer Anlage innerhalb gesetzlicher Vorgaben.”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

    Reibung

    Verlust an mechanischer Energie bei Ablauf, Beginn oder Ende einer Relativbewegung sich berührender Stoffbereiche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Reiner Arbeitsplatz

    Arbeitsplatz mit erhöhtem Reinheitsgrad, der durch Zufuhr eines gefilterten turbulenzarmen Luftstromes charakterisiert wird, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht.

    Reiner Bereich # veraltet aus dem Jahr 1984

    Ein reiner Bereich ist ein abgegrenzter Bereich mit einem Reinheitsgrad der Luft, der die höchstzulässige Teilchenzahl der Reinheitsklasse 10^5 (nach nicht mehr anwendbarem Federal Standard 209 E) nicht überschreitet.

    In Abhängigkeit der Anforderungen besitzt er eine Temperatur-, Luftfeuchte-, Differenzdruck- und Luftgeschwindigkeitsregelung.

    Reiner Raum # veraltet aus dem Jahr 1984

    Raum mit einem gegenüber dem Umgebungsmedium erhöhtem Reinheitsgrad, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht und der bei Notwendigkeit mit einer Apparatur für die Regelung der Temperatur, der Feuchtigkeit des Luftdruckes und der Geschwindigkeit des Luftstromes ausgerüstet ist.

    Reinheitsgrad # veraltet aus dem Jahr 1984

    Der Reinheitsgrad der Luft ist die vorhandene Verunreinigung, gemessen in Teilchenkonzentration und/oder Anzahl der koloniebildenden Einheiten (Mikroorganismen). Die in der Luft befindlichen Mikroorganismen stellen Teilchen dar, die in der Teilchenzählung eingeschlossen sind.

    Reinheitskette

    Unter Reinheitskette werden die Gesamtheit aller erforderlichen Bedingungen und Maßnahmen und ihre wechselseitigen Beeinflussung verstanden.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 11, Januar 2008)

    Reinheitsklasse

    Durch Stufung des Reinheitsgrades nach der Teilchenkonzentration sind für die Technik Reinheitsklassen festgelegt.

    Reinheitsstufe # veraltet aus dem Jahr 1984

    Durch Einteilung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) und der Teilchenkonzentration sind für die Pharmazie der DDR Reinheitsstufen festgelegt.

    Reinheitstauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

    Die Reinheitstauglichkeit beurteilt Betriebsmittel oder reinlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen. Sie beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigungen. Die Reinheitstauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf das Produkt, welches im oder mit dem Betriebsmittel bearbeitet wird.

    Reinheitszone # veraltet aus dem Jahr 1984

    Gebäude mit Reinraumbereichen sind in die Reinheitszonen

    • Schwarzzone
    • Grauzone
    • Reinzone (Weißbereich)

    zu gliedern.

    Reinzonen erfordern vorgeschaltete Grau- und Schwarzzonen; Grauzonen erfordern vorgeschaltete Schwarzzonen. Eine weitere Untergliederung dieser Zonen ist je nach Anforderung zulässig.

    Reinraum

    „Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird, der so konstruiert und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden.” [ISO 14644-1:1999, 2.1.1]

    Reinraum eingerichtet (at rest)

    Ein vollständiger Reinraum mit Fertigungsgeräten, installiert und in Betrieb, aber ohne Personal. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Reinraum in Betrieb

    Ein Reinraum in normalem Betrieb, mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten sowie mit Fertigungsgeräten und Personal, die im Reinraum ihre normale Arbeit verrichten. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Reinraum leer (as built)

    Ein vollständiger und betriebsbereiter Reinraum, ausgestattet mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten (funktionsbereit), aber ohne Fertigungsgeräte und Personal. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

    Reinigung

    Entfernung von Verschmutzungen in einem Bereich oder von einem Gegenstand in dem für die weitere Behandlung und vorgesehene Verwendung erforderlichen Umfang (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Reinraumanlage

    Reinraum oder ein oder mehrere reine(r) Bereich(e) zusammen mit allen zugehörigen Bauten, Luftaufbereitungssystemen, Anschlüssen und Betriebsmedien (ISO 14644-1:1999,2.1.3).

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

    Reinraumeinheit RRE # veraltet aus dem Jahr 1984

    Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 2400 mm x 6000 mm

    Reinraumgebäude

    Gebäude mit Reinraumbereichen und Reinheitszonen.

    Reinraumkabine

    Eine Reinraumkabine ist ein lokaler Reinraumbereich, der örtlich veränderbar ist (Rollen, einfaches Verschieben), aus einer Rahmenkonstruktion besteht und Wandflächen aus festen Elementen (Hardwall – Glas, Kunststoff, Blech u.a.) oder Folien (Softwall – flächig und/oder in Streifen) besitzt. Die Reinstluftversorgung erfolgt über Lüfter-Filter-Module.

    Reinraumklasse # veraltet

    Der Begriff Reinraumklasse ist ein veralteter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierung von Reinraumbereichen in ISO-Klassen (siehe ISO 14644-1). Der Begriff Reinraumklasse ist schon dadurch irreführend, da man einen Reinraum nicht nach dem Raum an sich, sondern nur nach der Reinheit der Luft in diesem klassifizieren kann. Die Reinheit des Raumes wird indirekt über die Reinheit der Luft in diesem Raum beschrieben.

    Reinraumzelle RRZ # veraltet aus dem Jahr 1984

    Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

    Reinraummodul RRM # veraltet aus dem Jahr 1984

    Kleinste Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 1200 mm x 2400 mm

    Reinraumprotokoll

    Das Reinraumprotokoll beinhaltet alle Maßnahmen während der Realisierung eines Reinraumprojekts zur Aufrechterhaltung einer definierten Reinheit in der jeweiligen Bauphase, wie Reinraumkleidung, Verhalten, Personal- und Materialeinbringung, Reinigung und reine Montage.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

    Reinraumregime

    Das Reinraumregime ist die vorgegebene und überwachte Ordnung und Verhaltensweise des Personals auf dem Weg zum und vom reinen Bereich, in reinen Bereich, im Umgang mit der Prozesskette.

    Bestandteil des Reinraumregimes ist die Überwachung der Anforderungen an den Reinraumbereich (z.B. Reinheitsklasse, Temperatur, Luftfeuchte, Druck).

    Reinraumsegment RRG # veraltet aus dem Jahr 1984

    Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x n (6000 mm).

    Reinraumseite # veraltet aus dem Jahr 1984

    Wandseite im Bereich der höheren Reinheitsklasse.

    Reinraumzelle RRZ # veraltet aus dem Jahr 1984

    Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

    Reinraumtauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

    Die Reinraumtauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf den Reinraum und beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind. Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt. Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

    Requalifizierung

    Durchführung der Qualifizierungsaktivitäten nach festgelegten Zeitabständen oder nach wesentlichen Änderungen in den Prozessen oder Teilsystemen.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 5.1, Düsseldorf 2007)

    Restschmutzpartikel

    Restschmutzpartikel, oder kurz Restschmutz, sind Partikelrückstände auf Komponenten im Automobil, welche deren korrekte Funktion oder die des Systems, in welche die Komponente verbaut ist, beeinträchtigen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Risiko

    Wahrscheinlichkeit des Auftretens einer Gefährdung, die einen Schaden hervorruft, und der Schweregrad dieses Schadens (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Roboterzone (RZ)

    Arbeitsbereich des RR-Roboters; keine Belegung durch EM und andere Baugruppen (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Sauberraum

    Der Begriff Sauberraum wird für räumlich abgetrennte Bereiche verwendet, die von ihrer Luftreinheit besser als die umgebenden Bereiche sind, jedoch nicht zwingend Reinraumqualität aufweisen müssen und nicht in die gängigen Partikelreinheitsklassen der Luft nach ISO 14644-1 bzw. VDI 2083-1 eingeordnet werden. Auf Grund der konsequenten Umsetzung des metrischen Maßsystems und der Ablösung des US-Federal-Standards 209E durch die ISO 14644-1 kann man ggf. den Sauberraum mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft von ISO 9 oder ISO 8 beschreiben. Viel wichtiger als diese Klassifizierung über Partikelkonzentrationen in der Luft ist es aber, den Sauberraum für den jeweiligen Einsatzfall zu definieren und Aktionen festzulegen, die diesen als den ursprünglich gedachten Sauberraum erhalten.

    Sauberraummodul

    Der Aufbau des Sauberraummoduls entspricht im Wesentlichen dem des Lüfter-Filter-Moduls. Im Unterschied zu diesem wird kein HEPA- oder ULPA-Filter sondern ein hochwertiges Feinfilterelement eingesetzt. Dadurch erreicht man eine für viele Prozesse ausreichende Luftfiltration bei einem sehr hohem Volumenstrom.

    Säure

    Substanz, deren chemische Reaktion dadurch gekennzeichnet ist, dass sie durch die Aufnahme von Elektronenpaaren neue Bindungen bildet (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Schallspektrum (Schallleistungsspektrum, Schalldruckspektrum)

    Das Schallspektrum beschreibt die Pegelverteilung innerhalb des interessierenden Frequenzbereiches. Das Schallspektrum umfasst die Schallleistungspegel (oder die Schalldruckpegel z.B. am Messpunkt für den Arbeitsplatz oder am lautesten Messpunkt oder als Mittelwert über die Messfläche) in aneinander anschließenden Frequenzbändern, z.B. in Oktav-, Terz- oder Schmalbändern. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Schleusenbank

    siehe Sit-Over-Bank

    Schutzfaktor

    Der Schutzfaktor ist das Verhältnis von Emission zur Immission für die jeweilige Schutzart (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

    Schwarzraum, Schwarzbereich, Schwarzzone #veraltet

    veralterter Begriff aus der Reinraumtechnik, Arbeitsbereich ohne Beschränkung der Partikelkonzentration (Außenbereich)

    Schwarzzone

    Arbeitsbereich ohne Beschränkung der Partikelkonzentration (Außenatmosphäre) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Sedimentationsplatte

    Geeignetes Behältnis (z.B. Petrischale) angemessener Größe mit einem geeigneten, sterilen Nährmedium, das für eine bestimmte Zeit offen stehen gelassen wird, um lebensfähige Partikel aus der Luft zu sammeln (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Selbstprüfung

    Teil der zur Qualitätslenkung erforderlichen Qualitätsprüfung, der vom Bearbeiter selbst ausgeführt wird [DIN 55350-17]
    (Quelle: VDI 2083, Blatt 11, Januar 2008)

    Servicezone (SZ)

    Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM,

    • zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;
    • für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;
    • für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüsse

    (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    SLS

    Stray Light Sensor; streuender Lichtsensor/ Sensor für streuendes Licht (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

    SMIF

    Standard mechanical interface; Mechanische Schnittstelle (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    SMIF-Pod (Standard Mechanical Interface Pod)

    Mini-Environment mit einem standardisierten Interface (Öffnungs- und Anschlussmechanismus) zum automatischen Öffnen durch eine Maschine ohne menschlichen Eingriff (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

    Softwall-Kabine

    Im Gegensatz zur Hardwall-Kabine ist die Softwall-Kabine ein Reinraum mit flexiblen, nicht festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Reinraumvorhängen und -streifenvorhängen bestehen. Die feste und modular aufgebaute Decke mit integrierten Lüfter-Filter-Modulen wird durch Stützen getragen.

    Spezifischer Nenn-Volumenstrom

    Vom Hersteller empfohlener Volumenstrom je Flächeneinheit in m3/m2 *h  (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

    Spezifischer Volumenstrom

    Volumenstrom in m3/m2 *h , der erforderlich ist, um eine Druckdifferenz am filternden Material von 100 N/m2 und von 200 N/m2 zu erreichen. Die Prüfung wird in Anlehnung an DIN 53129 Teil 2 durchgeführt. (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

    Spezifisches Prüfverfahren

    Prüfverfahren, das einen Analyten erfasst, ohne dass andere Bestandteile in der Probe das Analyseergebnis beeinflussen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Sit- Over-Bank

    auch Übersteigbank, Schleusenbank. Ausstattung von Personenschleusen; dient dem Wechsel der Kleidung und zur Abgrenzung von Bereichen mit unterschiedlicher Kleiderordnung. Des Weiteren stellt die Bank eine Barriere für die Bodenkontamination dar.

    Statische Aufladung

    Triboelektrische Aufladung

    Elektrische Aufladung, die durch Reibung oder durch Trennung von zwei Oberflächen erzeugt wird (siehe EN 61340-5-1 und EN 61340-5-2).

    Induktionsaufladung

    Durch bewegte stromdurchflossene Leiter in einem statischen Magnetfeld oder durch eine zeitliche Veränderung eines Magnetfeldes (B-Feld) bei einem zeitlich und räumlich konstanten Stromfluss findet Induktion statt, die zur Ausbildung von Oberflächenpotenzialen führen kann.

    Elektrostatische Ableitung

    Schnelle, spontane Übertragung von elektrostatischen Ladungen, induziert durch ein elektrostatisches Feld (SEMI E78-998).

    (Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

    Staub

    Mit Staub bezeichnet man ein Kollektiv von festen Partikeln, die in einem Gas verteilt sind. Stäube unterteilt man nach ihrer Herkunft und Entstehung in natürliche und technische Stäube. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Staubklasse #veraltet

    veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, Der Begriff Staubklasse ist ein veraltereter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierungvon Reinraumbereichen in ISO-Klassen.

    Staubspeicherfähigkeit (statische Staubspeicherfähigkeit)

    Die Staubspeicherfähigkeit ist das Produkt aus der Masse des auf Wegwerfluftfiltern oder Luftfiltern ohne selbsttätige Erneuerung des Filtermediums aufgegebenen synthetischen Staub bis zum Eintreten einer begrenzten Bedingung.

    Sie wird in g angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Staubspeicherfähigkeit je Flächeneinheit (dynamische Staubspeicherfähigkeit)

    Die Staubspeicherfähigkeit je Flächeneinheit ist das Produkt aus der Masse des synthetischen Staubes, die je Flächeneinheit auf das Filtermedium von Luftfiltern mit selbsttätiger Erneuerung des Filtermediums je Flächeneinheit aufgenommen werden kann und dem mittleren Abscheidegrad des Prüflings gegenüber synthetischem Staub, wenn der Prüfling im Gleichgewichtszustand arbeitet.

    Sie wird in g/m² angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Sterilisation

    Prozess zur Inaktivierung aller Mikroorganismen und aller relevanten mikrobiellen Sporen (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

    Streulicht-Einzelpartikelzähler LSAPC:

    Ist ein Gerät, das einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe bestimmt und Größendaten als optische Äquivalentdurchmesser ausgibt. (Quelle: DIN EN ISO 14644-1, 2016)

    Summenparameter

    Zusammenfassung einer oder mehrerer Stoffgruppen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Surface Chemical Contamination

    Auf der Oberfläche eines Werkstoffs vorhandene molekulare Ablagerungen, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    SVOC (Semi-Volatile Compunds)

    Flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich >n-Hexadecan C16 (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Technische Sauberkeit

    Die Technische Sauberkeit bewertet Restschmutzpartikel auf Komponenten und Systemen im Automobil. Bauteile frei von den spezifisch kritischen Partikeln gelten als technisch sauber. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

    Teilchen

    Teilchen sind feste, flüssige oder gasförmige Bestandteile sowie Mikroorganismen, die sich in schwebeförmiger Verteilung befinden.

    Teilchengröße

    Maximale lineare Abmessung des Teilchens (des Mikroorganismus) in Mikrometer.

    Teilchenkonzentration

    Teilchenkonzentration ist die Summe aller Teilchen in 1000 cm³ Luft, die gleich oder größer ist als die Bezugsteilchengröße.

    Teilchenzählgerät # veraltet aus dem Jahr 1984

    Gerät zur Messung des Reinheitsgrades.

    THC (Total Hydrocarbon Content, Kohlenwasserstoff-Index; KW-Index; MKW-Index)

    Summe der Konzentration der mit einem Kohlenwasserstofflösemittel (Siedepunkt zwischen 36°C und 69°C) extrahierbaren Stoffe, die an Florisil nicht adsorbieren und die mit Retentionszeiten zwischen denen von n-Decan (C10H24) und n-Tetraoctan (C40H82) chromatografisch bestimmt werden können [DIN EN ISO 9377] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Thermodesorption

    Thermisches Herauslösen von flüchtigen Substanzen aus einem Trägermaterial.

    (Quelle: VDI 2083, Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    TOC

    total organic carbon; gesamter organischer Kohlenstoff (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

    = Gesamtkohlenstoffgehalt, Total Organic Carbon

    Im Wasser enthaltener organisch gebundener Kohlenstoff, gebunden an gelösten oder suspendierten Stoffen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Tonhaltigkeit

    Die Tonhaltigkeit eines Geräusches hängt davon ab, wie deutlich sich aus dem Geräusch mindestens ein Einzelton hörbar heraushebt. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

    Triboelektrische Aufladung

    Elektrische Aufladung, die durch Reibung oder durch Trennung von zwei Oberflächen erzeugt wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Turbulente Mischströmung

    Luftverteilung, bei der in den reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Turbulente Verdünnungsströmung

    “nicht in einer Richtung verlaufender Luftstrom

    Luftverteilung, bei der in den Reinraum oder reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Turbulenzarme Verdrängungsströmung

    “unidirektionaler Luftstrom

    geregelte Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeit über den gesamten Querschnitt eines Reinraums oder reinen Bereichs, die als parallele Luftströmung angesehen wird.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

    Turbulenzarme Verdrängungsströmung # veraltet aus dem Jahr 1984

    Übereinen gesamten Querschnitt des reinen Bereiches fließt ein gleichgerichteter Luftstrom mit möglichst gleichförmiger Geschwindigkeit und fast parallelen Stromlinien.

    Turbulenzströmung (T) # veraltet aus dem Jahr 1984

    Es ist keine Gleichförmigkeit von Strömungsbild und Geschwindigkeit der Luft im reinen Bereich gegeben.

    TVOC (Total Volatile Organic Compounds)

    Summe aller flüchtigen, organischen Komponenten im Retentionsbereich zwischen n-Hexan Cund n-Hexadecan C16 (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013) 

    TXRF

    Total reflection x-ray fluorescence spectroscopy; Röntgenstrahlinfluoreszenz-Spektroskopie (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Begriffe der Reinraumtechnik von U bis Z

    Übersteigebank

    siehe Sit-Over-Bank

    ULPA-Filter

    Das Ultra Low Penetration Air-Filter ist ein Schwebstofffilter mit einem minimalen Abscheidegrad von ≥ 99,9995% nach EN 1822. Es ist somit effizienter als ein HEPA-Filter.

    • Abscheidegrad U15 ≥ 99,9995%
    • Abscheidegrad U16 ≥ 99,99995%
    • Abscheidegrad U17 ≥ 99,999995%

    Ultrafeines Partikel

    Partikel mit einem Äquivalentdurchmesser kleiner als 0,1 μm

    (Quelle: VDI 2083 Blatt 1, Januar 2013)

    Umgebungsbereich

    Reiner Bereich um den Kernbereich (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

    Umluft

    Umluft ist der Teil der Abluft, der direkt oder indirekt im Kreislauf dem reinen Bereich wieder zugeführt wird.

    Unreiner Bereich

    Unreiner Bereich ist der, in dem mit medizinischem Untersuchungsgut oder vermehrungsfähigen Mikroorganismen gearbeitet wird (z.B. Labortische, Stallungen mit infizierten Tieren.) (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

    Untere Betriebsdruckdifferenz

    Die untere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über den Druck gesteuert werden, abgestellt werden.

    Sie wird in Pa angegeben.

    (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

    Unterwiesene Person

    Als unterwiesene Person gilt, wer über die ihr übertragenen Aufgaben und die möglichen Gefahren bei unsachgemäßem Verhalten unterrichtet und erforderlichenfalls angelernt sowie über die notwendigen Schutzeinrichtungen und Schutzmaßnahmen belehrt wurde. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

    UPW

    ultrapure water; Reinstwasser/ ultrareines Wasser (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

    Validierung

    “Dokumentierte Bestätigung, dass die Anforderungen einer spezifizierten Anwendung erfüllt werden. [VDI 2083 Blatt 5.1]”

    (Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

    VC

    Vibration classification (VC-A – VC-E); Schwingungsklassifizierung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    Verdrängungslüftung

    Ist eine Form der Raumlüftung, bei der der Raum insgesamt oder zonenweise gleichmäßig mit Zuluft durchströmt wird. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Verdünnungslüftung

    Wird vielfach auch als Mischlüftung bezeichnet, ist eine Form der Raumlüftung, bei der die Raumluft insgesamt oder zonenweise mit Zuluft vermischt wird. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

    Vergleichsverfahren

    Das Verfahren, bei dem der Schallleistungspegel durch Vergleich der Schalldruckpegel einer Quelle im Hallraum mit den Schalldruckpegeln, die eine Vergleichsschallquelle bekannter Schallleistung im gleichen Raum erzeugt, berechnet wird. (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)

    Veifizierung

    Bestätigung durch Bereitstellung eines objektiven Nachweises, dass festgelegte ANforderungen erfüllt worden sind. [DIN EN ISO 9000, 3.8.12] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

    Verschleiß

    Fortschreitender Materialverlust aus der Oberfläche eines festen Körpers (Grundkörper), hervorgerufen durch mechanische Ursachen, das heißt Kontakt- und Relativbewegung eines Gegenkörpers (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Vertikale turbulenzarme Verdrängungsströmung

    Die vertikal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine vertikale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

    Vertikalströmung

    Die Luft strömt senkrecht und turbulenzarm, die Partikel werden mit einer gleichmäßigen Luftströmung von oben nach unten abgeführt. So werden einzelne Arbeitsbereiche gut voneinander isoliert und beeinflussen sich weniger.

    Verunreinigung

    Vorhandensein fester, flüssiger und gasförmiger Teilchen und auch Mikroorganismen, die die Ursache von Fehlstellen im Technologischen darstellen.

    VOC (Volatile Organic Compounds)

    Flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich zwischen n-Hexan C6 und n-Hexadecan C16

    Ist der Oberbegriff für VVOC, VOC, SVOC und TVOC (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Vorfilter

    Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.

    Vorreinigung

    Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 100 000. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    VPD

    Vapor phase decomposition; Dekompilierung der Dampfphase (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

    VVOC (Very-Volatile Organic Compounds)

    Sehr flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich <n-Hexadecan C6 (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Wafer box

    Ein verschließbarer Container bestehend aus einem Sockel und einem Deckel (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Wafer box lable

    Die Kennzeichnung auf der Wafer box, die die Bezeichnung des Inhaltes und des Herstellers enthält. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

    Weißraum, Weißbereich, Weißzone #veraltet

    veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, ist ein Arbeitsbereich im Reinraum mit definierter Partikelreinheitsklasse der Luft (nach ISO 14644-1)

    Weißzone

    Arbeitsbereich mit definierter RKL (105; 104; 103) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

    Werkstoff

    Alle festen oder pastösen Materialien und Oberflächenbeschichtungen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

    Workbench/ Reine Werkbank

    Eine Reine Werkbank ist ein Arbeitstisch mit einer Reinstluftversorgung (siehe Lüfter-Filter-Modul), welche die Arbeitsfläche mit einem vertikalen oder horizontalen Reinstluftstrom versorgt.

    Zonen im SK-Herstellungsprozess bei RK # veraltet aus dem Jahr 1989
    • Servicezone (SZ): Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM

    – zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;

    – für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;

    – für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüssen

    • Gangzone (GZ): Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen
    • Arbeitszone: Aufstellbereich der E-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen)
    • Roboterzone: Arbeitsbereich des RR-Roboters, keine Belegung durch EM und andere Baugruppen
    • Fügeeinheiten: Montagegruppen aller Fertigstellgrade
    • Fügeprozess: Montagearbeiten wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindeabschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a.
    • Grobreinigung: Reinigung aller Materialien für den Montageprozess des EMB
    • Vorreinigung: Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung … unter RKL 100 000
    • Feinreinigung: … unter 10 000
    • Feinstreinigung: … unter 1000

    Quelle: “Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen” Blatt 10, 01.02.89, Richtlinie des Generaldirektors, Kombinat VEB Carl Zeiss Jena

    Zuluft/ Erstluft

    Zuluft ist aus den Schwebstofffiltern oder Luftauslässen in den reinen Bereich kontrolliert einströmende, gefilterte Luft vor Aufnahme von Verunreinigungen. (Quelle: DIN, Besondere Anforderungen an das Fertigungsumfeld Reinraumtechnik, Blatt 1)

    Zuluft-Stauraum # veraltet aus dem Jahr 1984

    Den Schwebstofffiltern vorgelagerter Druckraum zur Luftverteilung und Erzielung eines gleichmäßigen Abströmdruckes.