Das Reinraum Wiki: Begriffe und Definitionen

Willkommen auf dem Reinraum Wiki, dem Wiki für Begriffe rund um die Reinraumtechnik.

Dieser Service der COLANDIS GmbH wurde ins Leben gerufen, um Unternehmen aus der Industrie und Technologiebranche eine zentrale Anlaufstelle für den technischen Bereich in der Reinraumtechnik bereitzustellen.

Wir werden regelmäßig neue Begriffe rund um die Themen Reinraum, Sauberraum, Reinheitstauglichkeit und Reinraumtauglichkeit erklären. Viel Spaß beim Stöbern, Nachschlagen und Informieren.

Begriffe der Reinraumtechnik von A bis E

Abkürzungen # veraltet aus dem Jahr 1989
  • AST: Aufgabenstellung
  • BE: Bauelemente, elektronische
  • BG: Baugruppen
  • E/E: Elektrotechnik / Elektronik
  • EFA: Erzeugnisgruppen Fachausschuß
  • EM: Elektronikmaschinen (Maschinen zur SK-Fertigung)
  • EMB: Elektronikmaschinenbau
  • EvR: Eigenfertigung von Rationalisierungsmitteln
  • GE: Grundsatzentscheidung
  • GFU: Grundfondstechnische Untersuchungen
  • HLO: Hochleistungsoptik
  • IBF: Institution für Betonforschung, Dresden
  • ILKA: Kombinat Industrieverband Luft- und Kälteanlagenbau
  • LP (DLP, ZLP): Leistungsplan (dezentral, zentral)
  • LTA: Lufttechnische Anlagen
  • PV: Plan der Vorbereitung
  • PWT: Plan Wissenschaft und Technik
  • ME: Mikroelektronik
  • RK: Reiner Korridor
  • RKL: Reinraumklasse
  • SK: Schaltkreis
  • TE: Technologische Entwicklungen
  • TN: Technologisches Wissen
  • TSA-ME: Technologische Spezialausrüstungen der Mikroelektronik
  • ZWS: Zentrales Weisungssystem der KCZ

Quelle: „Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen“ Blatt 10, 01.02.89, Richtlinie des Generaldirektors, Kombinat VEB Carl Zeiss Jena

Abluft # veraltet aus dem Jahr 1984

Abluft ist die durch Teilchen verunreinigte, aus den reinen Bereichen abgeführte Luft. Sie teilt sich anschließend im Regelfall in die Umluft des Primärkreises, in die Umluft des Sekundärkreises und in die Fortluft.

Abluft-Stauraum # veraltet aus dem Jahr 1984

Dem perforierten Fußboden oder der Abluftwand nachgeschalteter Druckraum zur Sicherung der Stabilität der turbulenzarmen Verdrängungsströmung im reinen Bereich.

Abnahmemessungen
Abnahmemessungen für Reinräume dienen dem Nachweis der Übereinstimmung mit den festgelegten Anforderungen der Luftreinheit. Sie erfolgen nach vorgeschriebenen Standards entsprechend DIN EN ISO14644-1, DIN EN ISO 14644-4 und VDI 2083-3. Die Abnahmemessungen umfassen dabei mindestens

  • Luftvolumenstrom- / Luftgeschwindigkeitsprüfung
  • Bestimmung der Luftwechselzahl
  • Differenzdruckprüfung
  • Dichtheitsprüfung für Filter
  • Zählung luftgetragener Partikel inkl. statistische Auswertung und Klassifizierung des Reinraumes

Weitergehende Messungen umfassen Klimaparameter, Schallpegel und Beleuchtungsstärke.

Abscheidegrad (Trenngrad, separation efficiency)

Im Allgemeinen wird mit dem Abscheidegrad die Wirksamkeit von Trennverfahren bewertet. In der Reinraum-Filtertechnik beschreibt der Abscheidegrad eines Filters das Verhältnis von abgeschiedenen Partikeln zu eingetretenen Partikeln pro Volumeneinheit und wird in Prozent angegeben.

Abscheidegrad (in %) = 100 x (CE-CA) / CE

CE= Partikelkonzentration bei Lufteintritt CA= Partikelkonzentration bei Luftaustritt

Der Abscheidegrad ist von der Partikelgröße abhängig. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Filterklassifizierung anhand des Abscheidegrades  gegenüber dieser Partikelgrößen.

Abschottung # veraltet aus dem Jahr 1984

Abtrennung von Stauraumbereichen, anlagen- oder funktionsbedingt.

Additive Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch im Umluftbetrieb arbeitende zusätzliche (additive) LF-Geräte wird in einem reinen Bereich durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Reinheitsgrad der Luft örtlich gegenüber der turbulent durchströmten Umgebung gesenkt.

Aktionsgrenze

„Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, bei dessen Überschreitung unverzügliches Eingreifen, einschließlich Ursachenuntersuchung und Korrekturmaßnahmen, erforderlich ist. [DIN EN ISO 14644-7]

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Alarmgrenze

„Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, der frühzeitig vor dem Abweichen von den normalen Bedingungen warnt, und bei dessen Überschreitung dem Prozess verstärkte Aufmerksamkeit gewidmet werden sollte. [DIN EN ISO 14644-7]“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

AMC-Filter

AMC (Airborne Moleculare Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Aminofilter

(Begriff aus der Reinraumtechnik) Aminofilter sind chemische Filter, die Aminoverbindungen aus der Luft filtern und chemisch binden. Der Einsatz von Aktivkohle ohne chemische Imprägnierung ist nicht möglich, da Aminoverbindungen von der unbehandelten Aktivkohle nicht zurückgehalten werden können. (siehe auch: AMC-Filter)

Außenluft # veraltet aus dem Jahr 1984

Außenluft ist die aus der freien Atmosphäre angesaugte Luft.

Betriebszustand Bereitstsellung

„Zustand des vollständig angeschlossenen und in Funktion befindlichen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstungen und ohne Personal“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Betriebszustand Leerlauf

„Zustand des vollständig eingerichteten und wie vereinbart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Personal“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Betriebszustand Fertigung Betrieb

„vereinbarter Zustand des in der festgelegten Betriebsart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs mit der Ausrüstung in Betrieb und mit der festgelegten Anzahl anwesender Personen“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Bezugsteilchengröße # veraltet aus dem Jahr 1984

Bezugsteilchengröße ist die Teilchengröße, auf die sich die Häufigkeitssumme bezieht.

Begriffe der Reinraumtechnik von F bis J

Fallstromkabine # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch Hüllkonstruktionen geschlossener, ortsfester reiner Arbeitsplatz mit vertikaler turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

Flowbox
Veralteter und inzwischen ungebräuchlicher Begriff. Der Begriff Flowbox wird durch Kunden für verschiedene Produkte verwendet und ist daher missverständlich. Diese Produkte sind:

  • Lüfter-Filter-Module /FFM
  • Reinluft-Abeitsplätze
  • Reinraumkabinen
Fortluft # veraltet aus dem Jahr 1984

Fortluft ist die aus dem reinen Bereich in die freie Atmosphäre abgeführte Luft.

Gerätespezifikationen
  • Streulicht- Einzelpartikelzähler

LSAPC (en: light scattering (discrete) airborne particle counter)

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen und Größendaten

als optische Äquivalentdurchmesser auszugeben

  • Makropartikel-Einzelzähler

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Makropartikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen

  • Partikeldepositionszeitmessgerät

Gerät zur Einzelpartikelzählung und -größenbestimmung, das den aerodynamischen Durchmesser von Partikeln durch

Messung der Zeit bestimmt, die vergeht, bis sich ein Partikel einer Änderung der Luftgeschwindigkeit angepasst hat“

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Grauraum, Graubereich, Grauzone
veralterer Begriff, Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte Partikelreinheitsklasse der Luft nach ISO 14644-1 und geringerer Partikelkonzentration als in der Außenluft
Hardwall-Kabine

Im Gegensatz zur Softwall-Kabine ist die Hardwall-Kabine ein Reinraum mit festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Hartschaum, Edelstahl-Lochblech und Einscheibensicherheitsglas bestehen.

HEPA-Filter

Das High Efficiency Particulate Air-Filter ist ein Schwebstofffilter in einem starren Rahmen. Der minimale Abscheidegrad ist ≥ 99,95% nach EN 1822.

  • Abscheidegrad H13 ≥ 99,95%
  • Abscheidegrad H14 ≥ 99,995%
Horizontale turbulenzarme Verdrängungsströmung (HTV) # veraltet aus dem Jahr 1984

Die horizontal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine horizontale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

Horizontalströmung

Die Luftströmung verläuft waagerecht aus der Filterwand und fällt mit der Entfernung langsam zum Boden ab. Dieses Prinzip bietet sich an, wenn der vertikale Luftstrom durch den Aufbau von Maschinen verhindert wird, oder die verunreinigte Luft nur horizontal abgeführt werden soll/kann.

Integrierte Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Die gesamte Zuluft für den reinen Bereich wird über LF-Geräte geleitet, die durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung den Reinheitsgrad der Luft örtlich senken. Der übrige Bereich wird durch gezielte Luftführung turbulent durchlüftet.

Installationsgeschoss # veraltet aus dem Jahr 1984

Bei sehr hohem Installationsgrad und dem Erfordernis, den Installationsraum häufig zu begehen, ergeben sich Raumhöhen = 3000 mm, so dass ein Installationsgeschoss erforderlich wird.

Installationsraum IR # veraltet aus dem Jahr 1984

Bereich innerhalb des Reinraumgeschosses zur Installation von Versorgungstechnik, lufttechnischen Anlagenteilen.

Begriffe der Reinraumtechnik von K bis O

Klassifizierung

„Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Nach ISO 14644-1 muss die Reinheit in einem Reinraum oder reinen Bereich für mindestens einen der folgenden Betriebszustände festgelegt sein:

  • Bereitstellung
  • as-built: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, ohne Personal und ohne stattfindende Produktion Leerlauf
  • at-rest: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, mit laufenden Produktionseinrichtungen, ohne Personal Fertigung
  • in-operation: In Betrieb befindlicher Reinraum mit laufender Produktion und arbeitendem Personal.

Die Abnahmemessung nach Fertigstellung eines Reinraumes findet üblicherweise im Betriebszustand as-built statt, bei einer Reinraum(re-)qualifizierung werden die Zustände at-rest und/oder in-operation betrachtet. Zur Anwendung und Methodik der Reinraumklassifizierung ist auch die Richtlinie VDI 2083 zu beachten.

Kombinierte Luftströmung (TK) # veraltet aus dem Jahr 1984

Innerhalb eines reinen Bereiches mit Turbulenzströmung befinden sich Zonen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung.

Kontamination # veraltet aus dem Jahr 1984

Kontamination ist die Verunreinigung der Luft oder einer Oberfläche mit Teilchen.

Kreuzkontamination

Kreuzkontaminationen sind Kontaminationen von Personen oder benachbarter Prozesse, die den zu betrachtenden Prozess negativ beeinflussen. Die Möglichkeit einer Kreuzkontamination ist vor allem in Reinräumen mit turbulenter Mischlüftung gegeben. Bei Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung oder in Minienvironments ist die Gefahr einer Kreuzkontamination geringer, da dort die Kontaminationen gezielt in unkritische Bereiche abgeführt werden.

Laminarbox # veraltet aus dem Jahr 1984

Offener, beweglicher reiner Arbeitsplatz mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

Leck # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch ein Leck tritt an einer Stelle unkontrolliert verunreinigte Luft in den reinen Bereich, die mit ihrem Reinheitsgrad die zulässige Teilchenzahl örtlich überschreitet.

Lüfter-Filter-Modul
(auch Filter-Fan-Unit (FFU)) oder Filter-Fan-Modul (FFM)) Ein Lüfter-Filter-Modul ist eine kompakte Versorgungseinheit für Reinstluft. Diese Module bestehen in den meisten Fällen aus Gehäuse, Filterelement (HEPA- oder ULPA-Filter) und Ventilator. Produktabhängig kann es zu geringfügigen Abweichungen vom Grundaufbau kommen. Ggf. kann ein Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilterelementen ausgestattet sein. Diese werden zum Schutz des HEPA/ULPA-Filters vor Grobstaub eingesetzt. In Sonderfällen können diese Vorfilter als chemische Filter ausgelegt sein, um molekulare Verunreinigungen aus der Luft herauszufiltern. Lüfter-Filter-Mdoul mit Beschriftung
Luftwechselzahl # veraltet aus dem Jahr 1984

Zahlenwert, der den Luftwechsel im reinen Bereich, bezogen auf die Zeiteinheit 1 Stunde angibt.

Makropartikel

„Partikel mit einem Äquivalentdurchmesser größer als 5 μm“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Materialschleuse # veraltet aus dem Jahr 1984

Entspricht der Personenschleuse, jedoch den unterschiedlichen Transportbedingungen angepasst.

M-Deskriptor

„Bezeichnung für die gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, angegeben in Form eines Äquivalentdurchmessers, der für das verwendete Messverfahren charakteristisch ist“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Minienvironment

Das Minienvironment ist ein lokaler Reinraum, der die saubere / reine Produktionsumgebung im bzw. unmittelbar um eine Maschine herum realisiert. Der Begriff ist im Halbleiterstandard von SEMI definiert. Er ist beschrieben als „a localised environment created by an enclosure to isolate the product from contamination and people” (SEMI E44-95 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments). Die für viele Prozesse in Hochtechnologiebereichen heutzutage notwendige Reinheit kann meist nur in Minienvironment realisiert werden, da man dadurch einen optimalen Schutz vor Kreuzkontaminationen erhält. Zusätzlich erreicht man bei einer konsequenten Einhaltung der technologischen Prozesse innerhalb der Minienvironments und Gestaltung der Schnittstellen zwischen diesen (Produktübergabe), dass die Bedingungen des umgebenden Raumes (Reinraum) nicht den hohen Ansprüchen der Prozesse mehr genügen muss, sondern eine geringere Luftreinheitsklasse ausreichend ist. Dies macht sich vordergründig bei den laufenden Kosten einer Fertigung im Reinraum bemerkbar.

Monitoring

„Unmittelbare systematische Erfassung, Beobachtung und Überwachung von Messgrößen mit den Kernfunktionen

  • Datenerfassung,
  • Vergleich mit den Vorgabewerten, gegebenenfalls Alarmierung,
  • Darstellung/ Visualisierung und
  • Datenspeicherung/Datenarchivierung.“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Online-Messverfahren

„Messverfahren, bei dem Messdaten direkt, nahezu zeitgleich mit der Erfassung, an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Offline-Messverfahren

„Messverfahren, bei dem Messdaten in zeitlichem Abstand von der Erfassung von Zeit zu Zeit an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Begriffe der Reinraumtechnik von P bis T

Partikel

„kleines Teil Materie mit physikalisch definierten Abgrenzungen“ (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Partikelreinheitsklasse der Luft

Die Reinheit der Luft muss durch die Angabe der maximal zulässigen Anzahl luftgetragener Partikel klassifiziert werden. Die Klassifizierung ist in der ISO 14644-1 und der VDI 2083-1 beschrieben. Die Partikelreinheitsklassen der Luft werden durch Messung der Partikelkonzentration ermittelt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft gilt als erreicht, wenn die gemessene Partikelkonzentration in jeder vorab festgelegten Partikelgröße die Grenzkonzentration einhält. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

  • As built – Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
  • At rest – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
  • In operation – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb
Partikelgröße

„Durchmesser einer Kugel, der mit Hilfe einer Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße gemessen werden kann, deren Messgröße in vergleichbarem Zusammenhang mit der Messgröße des Partikels steht“ (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Partikelgrößenverteilung

„Summenhäufigkeitsverteilung der Partikelkonzentration, dargestellt als Funktion der Partikelgröße“ (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Partikelkonzentration

„Anzahl der einzelnen Partikel je Volumeneinheit Luft“ (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Partikelvorfilter

Vorfilter zur Abscheidung von Partikeln werden in Grobstaubfilter und Feinstaubfilter unterteilt. Die Grobstaubfilter werden in die Klasse G1 bis G4 eingeteilt, die Feinstaubfilter in die Klassen F5 bis F9. Im Aufbau unterscheiden sich diese in Filtermatten, Taschenfilter, Kompaktfilter u.a.. Ggf. können auch HEPA- oder ULPA-Filter als Vorfilterelemente eingesetzt werden. Die HEPA-Filter werden in die Klasse H10 bis H14 und die ULPA-Filter in die Klasse U15 bis U17 eingeteilt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

  • As built: Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
  • At rest: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
  • In operation: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb
Penetration

Die Durchdringung des Filtermediums wird als Penetration bezeichnet und ist das Verhältnis der Partikelkonzentration, welche das Filtermedium verlässt zur Partikelkonzentration, welche in das Filtermedium eindringt. Sie wird in Prozent ausgedrückt und basiert auf speziellen Partikelgrößen.

Personenschleuse # veraltet aus dem Jahr 1984

Abgegrenzter reiner Bereich mit wechselseitig verriegelbaren Türen und eventuell eingebauten Luftduschen. Sie dienen dem Druckausgleich und Übergang in reine Bereiche unterschiedlicher Reinheitsklassen.

Prüfaerosol

Prüfaerosole werden in der Reinraumtechnik zur Kalibrierung von Partikelzählern und zur Prüfung der Filter eingesetzt. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Klassifizierung der Filter anhand ihrer Filtereffektivität gegenüber diesen Partikelgrößen mittels DEHS-Prüfaerosol (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat)

Prüfung

„Auflösung

kleinste Änderung in einer gemessenen Größe, die zu einer wahrnehmbaren Veränderung der entsprechenden Anzeige führt

  • maximal zulässige Messabweichung

maximal zulässige Fehlergrenze

Extremwert des Messabweichung in Bezug auf einen bekannten Referenzgrößenwert, der durch Spezifikationen oder Vorschriften für die jeweilige Messung, das gegebene Messgerät oder Messsystem zulässig ist“

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Raumgruppe # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch Stufung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) sind für das Gesundheitswesen der DDR  Raumgruppen festgelegt (I, II, III, IV)

Raumlufttechnische Anlage (RLTA) # veraltet aus dem Jahr 1984

Zusammenfassender Begriff für Klima-Luft- und Filtertechnik

Regulierter Betrieb

„(Betrieb im regulierten Umfeld)

Betrieb einer Anlage innerhalb gesetzlicher Vorgaben.“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Reiner Arbeitsplatz # veraltet aus dem Jahr 1984

Arbeitsplatz mit verringertem Reinheitsgrad, der durch Zufuhr eines gefilterten turbulenzarmen Luftstromes charakterisiert wird, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht.

Reiner Bereich # veraltet aus dem Jahr 1984

Ein reiner Bereich ist ein abgegrenzter Bereich mit einem Reinheitsgrad der Luft, der die höchstzulässige Teilchenzahl der Reinheitsklasse 10^5 nicht überschreitet.

In Abhängigkeit der Anforderungen besitzt er eine Temperatur-, Luftfeuchte-, Differenzdruck- und Luftgeschwindigkeitsregelung.

Reiner Raum RR # veraltet aus dem Jahr 1984

Raum mit einem gegenüber dem Umgebungsmedium verringerten Reinheitsgrad, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht und der bei Notwendigkeit mit einer Apparatur für die Regelung der Temperatur, der Feuchtigkeit des Luftdruckes und der Geschwindigkeit des Luftstromes ausgerüstet ist.

Reinheitsgrad # veraltet aus dem Jahr 1984

Der Reinheitsgrad der Luft ist die vorhandene Verunreinigung, gemessen in Teilchenkonzentration und/oder Anzahl der koloniebildenden Einheiten (Mikroorganismen). Die in der Luft befindlichen Mikroorganismen stellen Teilchen dar, die in der Teilchenzählung eingeschlossen sind.

Reinheitsklasse # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch Stufung des Reinheitsgrades nach der Teilchenkonzentration sind für die Technik Reinheitsklassen festgelegt.

Reinheitsstufe # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch Einteilung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) und der Teilchenkonzentration sind für die Pharmazie der DDR Reinheitsstufen festgelegt.

Reinheitstauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

Die Reinheitstauglichkeit beurteilt Betriebsmittel oder reinlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen. Sie beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigungen. Die Reinheitstauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf das Produkt, welches im oder mit dem Betriebsmittel bearbeitet wird.

Reinheitszone # veraltet aus dem Jahr 1984

Gebäude mit Reinraumbereichen sind in die Reinheitszonen

  • Schwarzzone
  • Grauzone
  • Reinzone

zu gliedern.

Reinzonen erfordern vorgeschaltete Grau- und Schwarzzonen; Grauzonen erfordern vorgeschaltete Schwarzzonen. Eine weitere Untergliederung dieser Zonen ist je nach Anforderung zulässig.

Reinraum

„Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird, der so konstruiert und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden.” [ISO 14644-1:1999, 2.1.1]

Reinraumeinheit RRE # veraltet aus dem Jahr 1984

Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 2400 mm x 6000 mm

Reinraumgebäude RRG # veraltet aus dem Jahr 1984

Gebäude mit Reinraumbereichen und Reinheitszonen.

Reinraumkabine

Eine Reinraumkabine ist ein lokaler Reinraumbereich, der örtlich veränderbar ist (Rollen, einfaches Verschieben), aus einer Rahmenkonstruktion besteht und Wandflächen aus festen Elementen (Hardwall – Glas, Kunststoff, Blech u.a.) oder Folien (Softwall – flächig und/oder in Streifen) besitzt. Die Reinstluftversorgung erfolgt über Lüfter-Filter-Module.

Reinraumklasse

Der Begriff Reinraumklasse ist ein veralteter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierung von Reinraumbereichen in ISO-Klassen (siehe ISO 14644-1). Der Begriff Reinraumklasse ist schon dadurch irreführend, da man einen Reinraum nicht nach dem Raum an sich, sondern nur nach der Reinheit der Luft in diesem klassifizieren kann. Die Reinheit des Raumes wird indirekt über die Reinheit der Luft in diesem Raum beschrieben.

Reinraummodul RRM # veraltet aus dem Jahr 1984

Kleinste Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 1200 mm x 2400 mm

Reinraumregime # veraltet aus dem Jahr 1984

Das Reinraumregime ist die vorgegebene und überwachte Ordnung und Verhaltensweise des Personals auf dem Weg zum und vom reinen Bereich, in reinen Bereich, im Umgang mit der Prozesskette.

Bestandteil des Reinraumregimes ist die Überwachung der Anforderungen an den Reinraumbereich (z.B. Reinheitsklasse, Temperatur, Luftfeuchte, Druck).

Reinraumsegment RRG # veraltet aus dem Jahr 1984

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x n (6000 mm).

Reinraumseite # veraltet aus dem Jahr 1984

Wandseite im Bereich der höheren Reinheitsklasse.

Reinraumzelle RRZ # veraltet aus dem Jahr 1984

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

Reinraumtauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

Die Reinraumtauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf den Reinraum und beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind. Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt. Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

Reinraumzelle RRZ # veraltet aus dem Jahr 1984

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

Sauberraum

Der Begriff Sauberraum wird für räumlich abgetrennte Bereiche verwendet, die von ihrer Luftreinheit besser als die umgebenden Bereiche sind, jedoch nicht zwingend Reinraumqualität aufweisen müssen und nicht in die gängigen Partikelreinheitsklassen der Luft nach ISO 14644-1 bzw. VDI 2083-1 eingeordnet werden. Auf Grund der konsequenten Umsetzung des metrischen Maßsystems und der Ablösung des US-Federal-Standards 209E durch die ISO 14644-1 kann man ggf. den Sauberraum mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft von ISO 9 oder ISO 8 beschreiben. Viel wichtiger als diese Klassifizierung über Partikelkonzentrationen in der Luft ist es aber, den Sauberraum für den jeweiligen Einsatzfall zu definieren und Aktionen festzulegen, die diesen als den ursprünglich gedachten Sauberraum erhalten.

Sauberraummodul

Der Aufbau des Sauberraummoduls entspricht im Wesentlichen dem des Lüfter-Filter-Moduls. Im Unterschied zu diesem wird kein HEPA- oder ULPA-Filter sondern ein hochwertiges Feinfilterelement eingesetzt. Dadurch erreicht man eine für viele Prozesse ausreichende Luftfiltration bei einem sehr hohem Volumenstrom.

Schwarzraum, Schwarzbereich, Schwarzzone
veralterter Begriff aus der Reinraumtechnik, Arbeitsbereich ohne Beschränkung der Partikelkonzentration (Außenbereich)
Schleusenbank
siehe Sit-Over-Bank
Softwall-Kabine

Im Gegensatz zur Hardwall-Kabine ist die Softwall-Kabine ein Reinraum mit flexiblen, nicht festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Reinraumvorhängen und -streifenvorhängen bestehen. Die feste und modular aufgebaute Decke mit integrierten Lüfter-Filter-Modulen wird durch Stützen getragen.

Sit- Over-Bank

auch Übersteigbank, Schleusenbank. Ausstattung von Personenschleusen; dient dem Wechsel der Kleidung und zur Abgrenzung von Bereichen mit unterschiedlicher Kleiderordnung. Des Weiteren stellt die Bank eine Barriere für die Bodenkontamination dar.

Staubklasse

veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, Der Begriff Staubklasse ist ein veraltereter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die KLassifizierungvon Reinraumbereichen in ISO-Klassen.

Teilchen # veraltet aus dem Jahr 1984

Teilchen sind feste, flüssige oder gasförmige Bestandteile sowie Mikroorganismen, die sich in schwebeförmiger Verteilung befinden.

Teilchengröße # veraltet aus dem Jahr 1984

Maximale lineare Abmessung des Teilchens (des Mikroorganismus) in Mikrometer.

Teilchenkonzentration # veraltet aus dem Jahr 1984

Teilchenkonzentration ist die Summe aller Teilchen in 1000 cm³ Luft, die gleich oder größer ist als die Bezugsteilchengröße.

Teilchenzählgerät # veraltet aus dem Jahr 1984

Gerät zur Messung des Reinheitsgrades.

Turbulente Verdünnungsströmung

„nicht in einer Richtung verlaufender Luftstrom

Luftverteilung, bei der in den Reinraum oder reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Turbulenzarme Verdrängungsströmung

„unidirektionaler Luftstrom

geregelte Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeit über den gesamten Querschnitt eines Reinraums oder reinen Bereichs, die als parallele Luftströmung angesehen wird.“ (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Turbulenzarme Verdrängungsströmung # veraltet aus dem Jahr 1984

Übereinen gesamten Querschnitt des reinen Bereiches fließt ein gleichgerichteter Luftstrom mit möglichst gleichförmiger Geschwindigkeit und fast parallelen Stromlinien.

Turbulenzströmung (T) # veraltet aus dem Jahr 1984

Es ist keine Gleichförmigkeit von Strömungsbild und Geschwindigkeit der Luft im reinen Bereich gegeben.

Begriffe der Reinraumtechnik von U bis Z

Übersteigebank
siehe Sit-Over-Bank
ULPA-Filter

Das Ultra Low Penetration Air-Filter ist ein Schwebstofffilter mit einem minimalen Abscheidegrad von ≥ 99,9995% nach EN 1822. Es ist somit effizienter als ein HEPA-Filter.

  • Abscheidegrad U15 ≥ 99,9995%
  • Abscheidegrad U16 ≥ 99,99995%
  • Abscheidegrad U17 ≥ 99,999995%

Umluft # veraltet aus dem Jahr 1984

Umluft ist der Teil der Abluft, der direkt oder indirekt im Kreislauf dem reinen Bereich wieder zugeführt wird.

Validierung

„Dokumentierte Bestätigung, dass die Anforderungen einer spezifizierten Anwendung erfüllt werden. [VDI 2083 Blatt 5.1]“

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 „Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Vertikale turbulenzarme Verdrängungsströmung (VTV) # veraltet aus dem Jahr 1984

Die vertikal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine vertikale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

Vertikalströmung

Die Luft strömt senkrecht und turbulenzarm, die Partikel werden mit einer gleichmäßigen Luftströmung von oben nach unten abgeführt. So werden einzelne Arbeitsbereiche gut voneinander isoliert und beeinflussen sich weniger.

Verunreinigung # veraltet aus dem Jahr 1984

Vorhandensein fester, flüssiger und gasförmiger Teilchen und auch Mikroorganismen, die die Ursache von Fehlstellen im Technologischen darstellen.

Volumenstrom

Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.

Vorfilter

Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.

Weißraum, Weißbereich, Weißzone

veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, ist ein Arbeitsbereich im Reinraum mit definierter Partikelreinheitsklasse der Luft (nach ISO 14644-1)

Workbench/ Reine Werkbank

Eine Reine Werkbank ist ein Arbeitstisch mit einer Reinstluftversorgung (siehe Lüfter-Filter-Modul), welche die Arbeitsfläche mit einem vertikalen oder horizontalen Reinstluftstrom versorgt.

Zonen im SK-Herstellungsprozess bei RK # veraltet aus dem Jahr 1989
  • Servicezone (SZ): Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM

– zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;

– für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;

– für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüssen

  • Gangzone (GZ): Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen
  • Arbeitszone: Aufstellbereich der E-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen)
  • Roboterzone: Arbeitsbereich des RR-Roboters, keine Belegung durch EM und andere Baugruppen
  • Fügeeinheiten: Montagegruppen aller Fertigstellgrade
  • Fügeprozess: Montagearbeiten wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindeabschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a.
  • Grobreinigung: Reinigung aller Materialien für den Montageprozess des EMB
  • Vorreinigung: Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung … unter RKL 100 000
  • Feinreinigung: … unter 10 000
  • Feinstreinigung: … unter 1000

Quelle: „Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen“ Blatt 10, 01.02.89, Richtlinie des Generaldirektors, Kombinat VEB Carl Zeiss Jena

Zuluft # veraltet aus dem Jahr 1984

Zuluft ist aus den Schwebstofffiltern oder Luftauslässen in den reinen Bereich kontrolliert einströmende, gefilterte Luft vor Abnahme von Verunreinigungen im reinen Bereich.

Zuluft-Stauraum # veraltet aus dem Jahr 1984

Den Schwebstofffiltern vorgelagerter Druckraum zur Luftverteilung und Erzielung eines gleichmäßigen Abströmdruckes.